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日本showa晶圓低溫烘烤超薄平面鋁制加熱器采用超薄型面狀加熱器 + 遠紅外線放射體的簡單構成,大幅減輕了發熱部重量。2. 加熱效率高,節能環保標配反射器(Reactor/Reflector) 提高加熱效率低瓦數即可實現良好加熱,節能性能優異
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廠商性質:經銷商
更新時間:2026-02-06
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日本showa晶圓低溫烘烤超薄平面鋁制加熱器
日本showa晶圓低溫烘烤超薄平面鋁制加熱器
從升溫曲線可見,400W鋁加熱器性能超越600W傳統產品,節能33%以上
| 表面類型 | 放射率特性 |
|---|---|
| Almite處理面(表面) | 高放射率(普遍>80%,峰值>90%) |
| 鋁基材(背面) | 低放射率(約20-40%) |
Almite處理:鋁的陽極氧化處理,形成氧化鋁膜,提高表面發射率和耐腐蝕性