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日本ekusa無污染光刻膠剝離液藥液加熱器所有與液體接觸部件均采用PFA（全氟烷氧基樹脂）無雜質溶出：確保藥液純度不受污染低溫加熱器設計：不會導致藥液劣化耐堿性：對堿性藥液也具有優異的耐腐蝕性，不會劣化
產品型號：ECN-60P廠商性質：經銷商更新時間：2026-02-07訪 問 量：199
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日本ekusa無污染光刻膠剝離液藥液加熱器
日本ekusa無污染光刻膠剝離液藥液加熱器
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 型號 | ECN型 |
| 用途 | 半導體藥液清洗裝置在線加熱 |
| 接液部材質 | 全PFA |
| 使用壓力 | 0.4MPa |
| 使用溫度 | 80°C（標準）/ 120°C（特殊規格） |
| 加熱器類型 | 低溫設計 |
| 安全功能 | 過熱報警傳感器、漏水傳感器 |
| 急停溫升 | 約10°C |
| 尺寸 | 超緊湊型 |
| 控制方式 | 可兼容現有電氣控制系統 |
| 維度 | 核心價值 |
|---|---|
| 材料純度 | 全PFA接液部，無金屬離子污染 |
| 化學兼容性 | 耐堿性藥液，無劣化 |
| 溫度范圍 | 標準80°C，可擴展至120°C |
| 安全設計 | 雙傳感器監控（過熱+漏水），急停低升溫 |
| 運行可靠性 | 0.4MPa耐壓，抗流動波動 |
| 維護成本 | 加熱器免更換，幾乎零維護 |
| 安裝便利 | 超緊湊設計，節省空間 |
| 系統兼容 | 可利用現有控制系統 |
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