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ULVAC真空爐氣體泄漏監測儀殘余氣體分析儀是一款主打簡潔易用、高性價比的新型殘留氣體分析計（RGA），核心基于四重極型質量分析技術，專為真空設備的氣體監測與管理設計，是生產現場工藝監測的通用型設備
產品型號：BGM2-101/BGM2-102廠商性質：經銷商更新時間：2026-03-07訪 問 量：225
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ULVAC真空爐氣體泄漏監測儀殘余氣體分析儀
ULVAC真空爐氣體泄漏監測儀殘余氣體分析儀
高性價比通用設計：兼顧實用性與成本，適配工業生產現場的常規殘留氣體分析需求，是真空設備管理的標準化監測工具；
無電腦獨立操作：采用顯示部一體化設計，無需外接電腦即可完成全部測量操作，適配現場快速檢測需求；
一鍵極簡操作：搭載 One Click 功能，支持 He/H?O/N?/O?等常見氣體及任意氣體的一鍵分析，無需復雜參數設置，操作人員無專業門檻；
功能全面且實用：內置*的泄漏測試功能，同時支持全壓測量，一臺設備兼顧氣體成分分析與壓力檢測，還標配 Qulee QCS 專業分析軟件，滿足精細化數據處理需求；
工業適配性強：符合 CE 標準，支持高溫烘烤（傳感器單元拆 / 裝狀態下分別可耐受 250℃/120℃），適配真空設備的高溫維護場景，使用溫度范圍 10~40℃，滿足工業現場環境要求。
| 機型 | 質量數范圍 | 檢測器 | 靈敏度 | 最小檢測分壓 |
|---|---|---|---|---|
| BGM2-101 | 1~100 amu | 法拉第杯 | 10?? A/Pa | 10?? Pa |
| BGM2-201 | 1~200 amu | 法拉第杯 | 10?? A/Pa | 10?? Pa |
| BGM2-102 | 1~100 amu | 二次電子倍增管 + 法拉第杯 | 4A/Pa | 10?12 Pa |
| BGM2-202 | 1~200 amu | 二次電子倍增管 + 法拉第杯 | 4A/Pa | 10?12 Pa |
| 關鍵區別：102/202 雙檢測器款靈敏度和檢測精度遠高于 101/201 單法拉第杯款，可實現超微量殘留氣體檢測；201/202 款的質量數測量范圍拓展至 200 amu，能分析更大分子量的氣體成分。 |
真空蒸著、濺射等成膜設備的殘留氣體監測；
高真空排氣裝置的氣體成分分析；
冷凍干燥設備的工藝氣體檢測；
科研領域的各類氣體成分分析實驗。
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