SAMCO 紫外臭氧清洗儀器

SAMCO 紫外臭氧清洗儀器，無需真空系統(tǒng)，在大氣環(huán)境下即可溫和高效去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體等基板表面有機物。搭載加熱臺面與臭氧分解裝置，最大處理 φ100mm 基板，配備上蓋聯(lián)鎖與 N? purge 等多重安全保障，是半導(dǎo)體晶圓與精密基板前處理的理想選擇。

產(chǎn)品型號：UV-1
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2026-03-25
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詳細(xì)介紹

SAMCO 紫外臭氧清洗儀器SAMCO 紫外臭氧清洗儀器

一、產(chǎn)品細(xì)節(jié)圖展示

SAMCO 紫外臭氧清洗儀器整體設(shè)計緊湊規(guī)整，采用工業(yè)級簡約造型，機身線條流暢，適配實驗室及潔凈車間的擺放需求。細(xì)節(jié)處盡顯精密：上蓋配備防誤觸安全聯(lián)鎖裝置，卡扣設(shè)計牢固，開啟時設(shè)備自動斷電，從源頭規(guī)避操作風(fēng)險；正面操作面板布局清晰，數(shù)顯屏幕可精準(zhǔn)顯示溫度、時間等核心參數(shù)，功能按鍵觸感清晰、反應(yīng)靈敏，便于快速操作；機身側(cè)面設(shè)有臭氧分解裝置接口與散熱孔，既保障設(shè)備穩(wěn)定運行，又防止臭氧泄漏；底部配備防滑腳墊，增強放置穩(wěn)定性，避免設(shè)備運行時產(chǎn)生晃動。

二、產(chǎn)品性能優(yōu)勢

SAMCO 紫外臭氧清洗儀器憑借核心技術(shù)優(yōu)勢，實現(xiàn)高效、溫和、安全的基板清潔。設(shè)備采用紫外光與臭氧協(xié)同作用，搭配加熱臺面輔助，可快速去除基板表面的有機物殘留，干式制程設(shè)計避免了濕式清洗帶來的靜電損傷，保護(hù)基板不受損壞；無需真空系統(tǒng)，在大氣壓環(huán)境下即可正常運行，大幅降低使用門檻，同時減少設(shè)備維護(hù)成本；加熱臺面可實現(xiàn)精準(zhǔn)溫控，適配不同材質(zhì)基板的清洗需求，加快清洗速率，提升清潔效率；搭載N? purge循環(huán)、臭氧洗滌裝置及緊急停止按鈕，多重安全防護(hù)，確保操作過程安全可控，符合工業(yè)安全規(guī)范。

三、產(chǎn)品用材與工藝

儀器選材嚴(yán)苛，兼顧耐用性與安全性。機身采用高強度耐腐蝕金屬材質(zhì)，表面經(jīng)過特殊耐磨抗污處理，不易刮花、褪色，可長期適應(yīng)實驗室、潔凈車間的使用環(huán)境，不易變形；內(nèi)部清洗腔體選用耐高溫、抗臭氧腐蝕的特種工程材料，能夠耐受紫外光與臭氧的長期侵蝕，有效延長設(shè)備使用壽命；上蓋密封件采用高彈性耐老化硅膠材質(zhì)，密封性優(yōu)良，可有效防止臭氧泄漏，同時保障安全聯(lián)鎖機構(gòu)的靈敏運作；核心組件均經(jīng)過嚴(yán)格檢測，裝配工藝精密，確保設(shè)備運行穩(wěn)定，減少故障發(fā)生率。

四、型號與核心參數(shù)

本款儀器核心型號為UV-1，是SAMCO 紫外臭氧清洗儀器的經(jīng)典主力款型，適配多種中小型清洗場景。其核心參數(shù)如下：可處理基板尺寸為φ100mm，可兼容4英寸晶圓及各類小型基板；加熱臺面溫度可根據(jù)需求精準(zhǔn)調(diào)節(jié)，滿足不同制程的溫度要求；設(shè)備運行功率適中，能耗較低，適合長期連續(xù)使用；臭氧分解裝置可將排氣中的臭氧濃度降至安全標(biāo)準(zhǔn)，符合環(huán)保要求；設(shè)備整體體積小巧，占用空間小，便于靈活擺放；運行噪音低，不影響實驗室及車間的正常工作環(huán)境。

五、產(chǎn)品用途與應(yīng)用場景

SAMCO 紫外臭氧清洗儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、新材料等多個領(lǐng)域，是高精度器件制造過程中的核心前處理設(shè)備。其主要用途為去除各類基板表面的有機物殘留，具體適配基材包括硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、GaAs、InP、SiC）、藍(lán)寶石、陶瓷等；可用于晶圓光刻前處理、器件封裝前清潔、光學(xué)元件表面改性、傳感器基板清潔等多種工藝，為高精度器件的生產(chǎn)與研發(fā)提供潔凈、可靠的表面保障，適用于高校實驗室、科研機構(gòu)、中小型半導(dǎo)體制造企業(yè)等場景。

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