一、產品型號
本品為日本TECHNOVISION（株式會社技術視覺）原廠出品，核心型號為TWC-200A全自動掩膜板清洗裝置，專注半導體精密制程清洗場景，是品牌旗下針對光掩膜精細化清潔的專用機型，適配行業高標準清洗作業需求，型號標識清晰，機身標注完整，便于設備溯源、售后維保及配件匹配。
二、產品細節圖
整機采用立式一體化緊湊設計，機身線條規整，貼合車間精密設備擺放需求，外觀兼顧實用性與工業美觀度。設備正面設有清晰的操作交互區域，按鍵與顯示屏布局合理，便于操作人員實時管控運行狀態；內部搭載專用卡匣傳輸結構，可實現掩膜板平穩送料、精準定位，避免物料磕碰劃傷；清洗腔體密封嚴實，杜絕液體滲漏，同時預留合規排氣、排水通道，保障車間作業安全；機身邊角做圓滑處理，外部框架堅固平整，各類管線排布規整、收納有序，無外露雜亂管線，既提升設備整體性，也便于日常清潔巡檢；進料出料口貼合標準掩膜板規格，卡匣式對接設計，可實現批量物料穩定對接，全程無需人工頻繁干預，細節處兼顧操作便捷性與設備耐用性。
三、產品性能
該款清洗裝置具備精密清洗性能，可一次性去除掩膜板表面1μm以上微小顆粒物、光刻膠殘留及蝕刻副產物、無殘留，充分保障掩膜板版面潔凈度，適配高精度光刻制程要求。干燥環節摒棄傳統氣刀干燥模式，采用熱純水干燥工藝，搭配免調節專屬設計，省去水飛濺調節流程，簡化操作的同時，提升干燥均勻度，避免版面水漬殘留，保障干燥后物料可直接投入下一工序。設備全程自動化運行，卡匣對卡匣式無縫對接，無需人工值守轉運，大幅提升作業效率，降低人工失誤風險；適配多種環保水溶性清洗液，無需使用硫酸等高危化學試劑，作業更安全；設備運行穩定，工況可控，可長時間連續作業，性能衰減慢，能持續滿足車間批量、高頻次清洗需求，適配多類精密電子制程場景。
四、產品用材
整機外部框架選用高強度工業合金材質，結構堅固、承重穩定，不易變形、耐腐蝕，可長久保持機身穩固性，適配車間常規作業環境；內部清洗腔體、傳輸軌道、接觸式配件，均采用耐酸堿、防腐蝕、抗老化的精密用材，既能抵御水溶性清洗液長期侵蝕，也不會對精密掩膜板版面造成刮擦、污染，保障物料完整性；管線、密封部件選用食品級、工業級密封耗材，柔韌性強、密封性好，耐高溫、耐液體腐蝕，杜絕漏液、漏氣問題，延長設備整體使用壽命；核心電氣元件、加熱組件均選用行業優質配件，用材合規、性能穩定，兼顧設備運行安全性與耐用性，符合精密半導體設備用材標準。
五、詳細參數
設備供電采用200V三相電源，適配工業車間常規供電標準，運行功耗穩定、能耗可控；整機外形尺寸為1760mm（寬）×900mm（深）×2050mm（高），立式結構占地空間小，便于車間布局擺放；設備自重約550Kg，機身厚重穩固，運行過程中無晃動、無偏移，保障清洗、傳輸精度；適配7英寸規格掩膜板，專用卡匣單次最多可裝載20張物料，批量處理能力出眾；支持環保水溶性清洗液作業，無需搭配高危試劑，可按需匹配4類不同藥液，適配多樣化清潔需求，各項參數均貼合半導體車間精密作業、空間布局、產能效率的核心要求。
六、產品用途
本品主要適用于半導體行業光刻制程，專門針對線寬1微米及以上規格的光掩膜板做精細化清洗作業，高效去除版面顆粒物、光刻膠殘留、有機污染物，保障光刻精度與芯片良率。同時可廣泛應用于平板顯示器、MEMS器件、精細線路PCB/FPC/TAB、化合物半導體、薄膜電子元件等精密電子元器件的制程清洗場景，覆蓋多類高精尖電子制造領域，是電子半導體、精密電子加工行業專用清洗設備，助力各產線提升產品良率、優化制程品質。
產品型號：TWC-200A
立即咨詢
聯系電話：13823182047
您的位置：
