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日本 NPS 電阻率 片電阻測量儀器日本 NPS sigma-5+ 四探針法電阻率 / 片電阻測量儀,專為半導體、液晶行業設計,可高精度測量硅晶圓、LCD 基板、金屬薄膜的方塊電阻與體積電阻,支持寬量程、自動校準、溫度補償,桌面緊湊設計,是半導體前道工序、導電材料研發的檢測設備。
產品型號:sigma-5+
廠商性質:經銷商
更新時間:2026-04-11
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日本 NPS 電阻率 片電阻測量儀器 日本 NPS 電阻率 片電阻測量儀器
成熟測量原理:采用標準四探針法,消除接觸電阻影響,實現高精度、重復性好的電阻測量,適配低電阻到高電阻的寬量程需求。
半導體級精度:專為硅晶圓、LCD 基板設計,可滿足半導體前道工序的檢測精度要求,測量結果可直接用于工藝驗證與品質管控。
自動校準與量程:開機自動零點校準,可自動設置最佳電流與量程,無需手動調節,降低人為誤差。
誤差抑制技術:通過電流極性切換測量,整流性抑制接觸誤差,大幅提升測量穩定性。
溫度補償功能:內置半導體用溫度補償,支持自定義補償系數,可消除溫度變化對測量結果的影響。
數據接口與打印:配備數據打印機接口與數據連接接口,支持測量數據導出、平均值計算與打印,適配研發報告與生產記錄。
厚度校正功能:支持試樣厚度校正,可直接計算體積電阻率,無需額外換算。
可選樣品臺:可搭配專用樣品臺(如 RG-5),適配不同尺寸的晶圓、基板樣品,操作更便捷。
專為實驗室與產線質檢設計的桌面式結構,占用空間小,安裝便捷,無需復雜的外部設備即可使用。
半導體制造:硅錠、晶圓制造工藝中,薄膜形成、摻雜處理后的產品檢測;
液晶面板行業:LCD 基板成膜工序的導電性能檢測;
導電材料研發:金屬薄膜、導電涂層、導電漿料等材料的電阻特性測試;
光伏行業:太陽能電池硅片的方塊電阻與電阻率檢測。
日本 NPS 20 余年技術沉淀:專為半導體行業設計的高精度測量方案,性能穩定可靠;
全流程誤差抑制:自動校準、極性切換、溫度補償三重誤差控制,測量精度行業;
寬量程適配:低電阻到高電阻全覆蓋,一臺設備滿足多品類導電材料檢測需求;
數據化管理:支持數據導出、打印與平均值計算,適配研發與生產全流程;
緊湊便捷設計:桌面式結構,操作簡單,無需專業技術人員即可上手。
主機(測量儀本體)
專用四探針探頭(可選配不同規格)
樣品臺(如 RG-5,可選配)
數據打印機(可選配)
數據連接線