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日本 MSA Factory 晶圓加熱吸盤設備PH201 系列是 MSA Factory 專為半導體行業設計的晶圓加熱吸盤，支持 4/6 英寸晶圓，最高溫度 200℃，提供鍍金導電型與陽極氧化絕緣型兩種表面處理方案，廣泛應用于晶圓溫度特性測試、探針臺加熱等場景。
產品型號：PH201 系列廠商性質：經銷商更新時間：2026-05-15訪 問 量：148
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日本 MSA Factory 晶圓加熱吸盤設備 日本 MSA Factory 晶圓加熱吸盤設備
通用型吸附設計：標準吸附圖案采用中心孔布局，支持 4 英寸、6 英寸及以下尺寸晶圓，無需更換卡盤即可適配不同規格工件。
兩種表面處理方案：
鍍金導電型（K 系列）：適用于需導電接觸的測試場景，最高耐溫 200℃。
陽極氧化絕緣型（S 系列）：提供絕緣表面，避免漏電干擾，同樣支持 200℃工作溫度。
高精度溫度控制：搭配 MSA Factory 標準溫度控制器（如 C100_SG），一鍵式接頭連接，操作簡單，溫控精度高。
半導體專用設計：專為晶圓、玻璃基板等電子元件的溫度特性測試與電性能測試優化，適配探針臺等設備。
| 項目 | 參數詳情 |
|---|---|
| 系列型號 | PH201-K-04/06（鍍金導電型）、PH201-S-04/06（陽極氧化絕緣型） |
| 最高工作溫度 | 200℃ |
| 板材尺寸 | 4 英寸（PH201--04）、6 英寸（PH201--06） |
| 板材材質 | 鋁合金 |
| 電源電壓 | AC100V |
| 適配控制器 | PCC100G、PCC107、C100_SG |
| 選配件 | 探針安裝適配器（支持定制） |
半導體晶圓溫度特性測試
探針臺加熱臺應用，支持晶圓電性能測試
玻璃基板、PCB 等電子元件的溫度與電特性測試
實驗室環境下的材料熱學性能研究
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