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日本 HORIBA 堀場 低流量溶解氧監測儀器日本 HORIBA 堀場 HD-960L 是專為半導體濕法工藝設計的低流量溶解氧監測儀，支持 μg/L 到 mg/L 量程自動切換，可在含 HF 溶液中穩定工作，支持 15ml/min 流量測量，廣泛應用于晶圓清洗等工藝的 DO 濃度監測。
產品型號：HD-960L廠商性質：經銷商更新時間：2026-05-29訪 問 量：90
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日本 HORIBA 堀場 低流量溶解氧監測儀器 日本 HORIBA 堀場 低流量溶解氧監測儀器
寬量程自動切換
可自動切換三個測量量程（0.0-200.0μg/L、200-2000μg/L、2.00-20.00mg/L），始終以最佳分辨率進行測量，滿足不同工藝階段的需求。
低流量樣品兼容
支持最小 15ml/min 的樣品流量測量，適配半導體工藝中低流量藥液的監測場景。
強抗腐蝕能力
傳感器單元可耐受最高 5000ppm 的 HF 濃度，專為含的濕法工藝設計。
簡易校正與維護
配備電氣零點校正、氣體零點和量程校正功能，操作便捷，降低維護難度。
豐富的通訊與輸出接口
支持 4-20mA 模擬輸出（4 點）、接點輸出（4 點）和 RS-485 通訊，方便數據傳輸與設備聯動，集成到工廠自動化系統中。
| 參數項 | 規格詳情 |
|---|---|
| 型號 | HD-960L |
| 測量范圍 | 0.0-200.0μg/L、200-2000μg/L、2.00-20.00mg/L |
| 重復性精度 | ±1% FS |
| 樣品條件 | 壓力 0-0.1MPa，流量 15-200ml/min，溫度 10-45℃ |
| 抗 HF 濃度 | 0-5000ppm |
| 電源規格 | DC24V ±10%，15W |
| 配套傳感器 | DO-100 傳感器單元，#5600 傳感器 |
| 樣品管路 | Φ1/4 英寸 PFA 管 |
半導體制造行業：晶圓廠濕法清洗、蝕刻工藝中，含 HF 溶液或純水中的溶解氧濃度在線監測，確保工藝穩定性與產品良率。
超純水系統：低流量超純水回路中的溶解氧監測，滿足半導體級水質要求。
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