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日本 HORIBA 堀場 面板安裝型電阻率儀器日本 HORIBA 堀場 HE-480R 是專為超純水監測設計的面板安裝型電阻率計,采用雙電極測量方式,支持高精度溫度補償,可實現 0~100MΩ?cm 寬量程測量,廣泛應用于半導體、電子、食品醫藥等領域的超純水連續監測。
產品型號:HE-480R
廠商性質:經銷商
更新時間:2026-05-29
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日本 HORIBA 堀場 面板安裝型電阻率儀器 日本 HORIBA 堀場 面板安裝型電阻率儀器
高精度寬量程測量
采用雙電極測量方式,電極常數 0.01/cm,支持 0~0.200、0~2.00、0~20.00 MΩ?cm 多檔測量范圍,無溫度補償時可測量至 100.0MΩ?cm,滿足超純水的高電阻率監測需求。
優良的溫度補償技術
內置響應迅速的溫度傳感器,可抑制水溫急劇變化導致的溫度補償延遲與測量值波動;支持超純水溫度特性補償,基準溫度與溫度系數可任意設定,適配不同工藝水的特性。
輸出與診斷功能
配備 4~20mA DC 隔離傳輸輸出,同時提供 2 點報警接點輸出;具備傳感器診斷、測量范圍外、A/D 轉換器異常等自診斷功能,方便設備維護與故障排查。
靈活的配置選項
支持超純水比電阻值選擇(18.23/18.18/18.24MΩ?cm),傳輸輸出保持功能可從 “保持前一值"“保持任意值"“連續" 中自由設置,適配不同工藝控制需求。
| 參數項 | 規格詳情 |
|---|---|
| 型號 | HE-480R |
| 測量方式 | 電極式(2 電極方式) |
| 電極常數 | 0.01/cm |
| 溫度傳感器 | 白金抵抗體 1000Ω/0℃ |
| 測量范圍 | 比抵抗:0~0.200/0~2.00/0~20.00 MΩ?cm(無溫度補償時可達 100.0MΩ?cm);溫度:0~100℃ |
| 重復性 | ±0.5% 滿量程以內(等效輸入) |
| 線性度 | ±0.5% 滿量程以內(等效輸入) |
| 輸出方式 | 傳輸輸出:4~20mA DC(輸入輸出隔離型);接點輸出:2 點報警接點 |
| 溫度補償 | 超純水溫度特性補償,基準溫度與系數可設定,補償范圍 0~100℃ |
| 自診斷功能 | 傳感器診斷、測量范圍外、A/D 轉換器異常等 |
半導體制造行業:晶圓制造過程中超純水系統的電阻率在線監測,確保工藝用水純度。
電子工業:精密電子元件生產過程中清洗用水的電阻率監控。
食品醫藥行業:制藥用水、食品加工純水的電阻率連續監測,保障產品質量與工藝合規性。