日本 YAMABUN 非接觸干涉透明多薄膜測(cè)厚儀 日本 YAMABUN 非接觸干涉透明多薄膜測(cè)厚儀

1. 產(chǎn)品概述

TOF-S 是 YAMABUN TOF 系列光學(xué)非接觸旗艦機(jī)型，區(qū)別于電容式、接觸式測(cè)厚方案，依托分光干涉反射原理，專門面向透明光滑薄膜、多層光學(xué)涂層開(kāi)發(fā)。

無(wú)需上下對(duì)射光路，僅單側(cè)光纖探頭即可完成厚度檢測(cè)，全程無(wú)觸碰、無(wú)壓力，不會(huì)損傷超薄軟質(zhì)光學(xué)膜；除臺(tái)式離線實(shí)驗(yàn)室版本外，設(shè)備結(jié)構(gòu)支持改造為產(chǎn)線在線連續(xù)監(jiān)測(cè)，廣泛應(yīng)用光學(xué)膜、顯示材料、功能性透明涂層研發(fā)與精密質(zhì)檢。

2. 詳細(xì)規(guī)格參數(shù)

表格

參數(shù)項(xiàng)目技術(shù)指標(biāo)

測(cè)量厚度范圍薄物模式：1～50 μm

厚物模式：10～150 μm

單次測(cè)量長(zhǎng)度50～5000 mm

測(cè)量間距≥1 mm

最小顯示分辨率0.001 μm

測(cè)量光斑直徑φ0.6 mm

探頭測(cè)量間隙約 30 mm

供電電源AC100V 50/60Hz

使用環(huán)境溫度5～45℃（單次測(cè)量?jī)?nèi)溫度波動(dòng)≤1℃）

環(huán)境濕度35～80% RH（無(wú)凝露）

測(cè)量原理分光干涉式、單側(cè)反射型非接觸測(cè)量

3. 產(chǎn)品核心亮點(diǎn)

? 0.001μm 超高分辨率，光學(xué)薄膜精密檢測(cè)

測(cè)量重復(fù)性可達(dá) ±0.01μm 以內(nèi)，滿足電子光學(xué)薄膜納米級(jí)厚度管控需求。

? 單側(cè)反射式測(cè)量，安裝靈活性強(qiáng)

只需薄膜上方布置光纖探頭，不需要底部反射基板，簡(jiǎn)化樣品放置，長(zhǎng)條試樣連續(xù)掃描便捷。

? 非接觸無(wú)損檢測(cè)，杜絕樣品壓痕、劃傷

無(wú)物理探頭接觸，極軟光學(xué)薄膜、易損傷涂層可安心測(cè)試。

? 抗溫度漂移性能優(yōu)異

相比電容式測(cè)厚，環(huán)境溫度小幅波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果影響更小，長(zhǎng)期檢測(cè)穩(wěn)定性更佳。

? 雙量程模式切換

薄物 / 厚物兩種測(cè)量檔位，覆蓋 1~150μm 主流透明薄膜規(guī)格。

? 機(jī)型支持定制拓展

標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)式離線機(jī)型用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)檢驗(yàn)，同時(shí)可改造為生產(chǎn)線在線連續(xù)監(jiān)測(cè)設(shè)備。

? 可識(shí)別多層透明薄膜結(jié)構(gòu)

適用于復(fù)合涂層、多層光學(xué)基材分層厚度解析。

4. 典型適用樣品

各類透明光學(xué)平滑薄膜、顯示行業(yè)基材、AR/AG 光學(xué)涂層；

多層復(fù)合透明高分子薄膜、功能性光學(xué)離型膜；

電子、光電行業(yè)超薄透明涂膜、硬化涂層試樣；

光學(xué)材料實(shí)驗(yàn)室新品開(kāi)發(fā)、成型工藝離線抽檢。