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日本NCC晶圓晶片附著粉塵分級計量設備10μm～100μm粗大粒子（分級計量），收集落下并附著于晶片上的粉塵，進行分級計數
產品型號：DTSP10-03廠商性質：經銷商更新時間：2026-02-28訪 問 量：177
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日本NCC晶圓晶片附著粉塵分級計量設備
日本NCC晶圓晶片附著粉塵分級計量設備
| 項目 | 說明 |
|---|---|
| 測量對象 | 落下的附著粉塵（非浮游粉塵） |
| 粒徑范圍 | 10μm～100μm粗大粒子（分級計量） |
| 采樣方式 | 使用樣品收集板（4英寸硅晶片） |
| 測量原理 | 收集落下并附著于晶片上的粉塵，進行分級計數 |
| 數據輸出 | 測定結果可在電腦上顯示并保存 |
| 安裝要求 | 必須安裝在100級左右的無塵環境中 |
| 痛點 | 解決方案 |
|---|---|
| 用粘性膠帶采樣+顯微鏡觀察計數，效率低下費時 | 自動分級計數，高效快速 |
| 想調查裝置內附著的塵埃，但找不到好的測定方法 | 晶片采樣，可放入設備內部 |
| 想調查高溫爐內、運行中傳送帶等附著的灰塵 | 使用2英寸晶片（直徑50mm）可進入狹小空間 |
| 參數 | DTSP10-02 | DTSP10-03 | DTSP10-03（2英寸版） |
|---|---|---|---|
| 最小可測粒徑 | 10μm | 10μm | 10μm |
| 粒徑區分 | 10μm、30μm、50μm、100μm | 10μm、30μm、50μm、100μm + 11～99μm范圍內可設定數值 | （同左） |
| 晶片尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 最大測試范圍 | Ф80mm | Ф80mm | Ф30mm |
| Trimming功能 | 有 | 有 | 無 |
| 切換顯示 | 無 | 有（可區分表示） | （同左） |
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