日本ベテル ハドソン  熱物性顯微鏡設備 日本ベテル ハドソン  熱物性顯微鏡設備

一、產品概述

二、核心技術與產品特點

1. 激光熱反射法微區測量技術

   基于熱反射法原理，通過周期性加熱激光與同軸檢測激光，捕捉樣品表面溫度變化引起的反射率變化，測量加熱光與探測光的相位滯后，計算得到熱滲透率，實現非接觸式高精度測量。

2. 高分辨率微區測量能力

   檢測光斑直徑約 3μm，可實現傳統設備難以完成的微米級熱物性分布測量，支持單點、一維、二維分布測定，滿足微小區域、薄膜樣品的測試需求。

3. 寬范圍樣品適配

   可測量數百 nm 至數十 μm 厚的薄膜、多層膜及塊狀材料，支持基板上的樣品測試，測量深度可調，適配樹脂、陶瓷、金屬、半導體等多種材料類型。

4. 缺陷檢測與性能評估

   可通過熱物性分布測量，檢測薄膜下的裂紋、空洞與剝離缺陷，評估材料內部不均勻性，為涂層質量、界面密合性與工藝優化提供數據支撐。

三、核心參數與性能指標

四、測量原理簡述

1. 在樣品表面沉積金屬薄膜，使用加熱激光進行周期性加熱；

2. 利用金屬反射率隨溫度變化的特性（熱反射法），通過同軸檢測激光捕捉反射強度變化，測量表面相對溫度變化；

3. 熱量從金屬薄膜傳導至樣品，導致溫度響應產生相位滯后，該滯后與樣品熱特性相關；

4. 通過測量加熱光與探測光的相位差，計算得到熱滲透率，并可換算為熱擴散率與熱導率。

五、主要應用場景

• 半導體與涂層材料：薄膜、多層膜的熱滲透率分布測量，評估涂層均勻性與界面熱性能。

• 材料缺陷檢測：檢測薄膜下的裂紋、空洞與剝離缺陷，評估樣品內部熱性能不均勻性。

• 高導熱 / 隔熱材料研發：新型導熱材料、隔熱涂層的微區熱性能測試，為材料設計與工藝優化提供數據支撐。

• 質量管控：批量樣品的熱性能一致性檢測，確保產品熱穩定性與可靠性。