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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設(shè)備日本 ULVAC CRYO-U10HSP 低溫高真空泵，采用低溫冷凝原理，對(duì)水、氫、氬等氣體具備高抽速，極限真空可達(dá) 10??Pa，適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝等高真空應(yīng)用場景。
產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U10HSP廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-04-30訪 問 量：128
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日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設(shè)備 日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設(shè)備
高抽氣性能：對(duì)水、氫、氬等多種氣體具備高效抽氣能力，抽速分別達(dá) 6900L/s、3600L/s、2000L/s，可快速建立高真空環(huán)境。
高極限真空能力：可實(shí)現(xiàn) 10??Pa（10??Torr）以下的極限真空，滿足對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的工藝需求。
穩(wěn)定可靠的運(yùn)行設(shè)計(jì)：配備 C15T 壓縮機(jī)單元，采用成熟的低溫泵技術(shù)，可長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，保障工藝過程的連續(xù)性。
緊湊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：設(shè)備尺寸適配標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口，進(jìn)氣口采用 UVG-250 法蘭，便于與真空腔體集成安裝。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號(hào) | CRYO-U10HSP |
| 抽氣速度（20℃） | 氮：2400L/s；氫：3600L/s；氬：2000L/s；水：6900L/s |
| 極限真空 | 10??Pa（10??Torr） |
| 最大流量（氬氣） | 1.30×103 Pa·L/s（9.8 Torr·L/s） |
| 抽氣容量 | 氬氣：2.0×10? Pa?L；氫氣：1.2×10? Pa?L |
| 冷卻下降時(shí)間 | 120/110min（50/60Hz） |
| 進(jìn)氣口法蘭 | UVG-250, 10" ANSI |
| 壓縮機(jī)單元 | C15T |
| 設(shè)備重量 | 36.0kg |
真空鍍膜設(shè)備的高真空系統(tǒng)配套
半導(dǎo)體制造工藝中的真空環(huán)境構(gòu)建
表面分析儀器的真空腔體抽氣
科研實(shí)驗(yàn)中的高真空環(huán)境制備
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