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ULVAC 愛發科 耐工藝型干式螺桿真空泵設備日本 ULVAC MS 系列是耐工藝型干式螺桿真空泵，在傳統 LS 系列基礎上強化了耐腐蝕性與排粉能力，可處理腐蝕性氣體和含粉塵排氣，適用于半導體、鋰電、熱處理等高要求真空工藝場景。
產品型號：MS系列 MS120A廠商性質：經銷商更新時間：2026-04-30訪 問 量：166
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ULVAC 愛發科 耐工藝型干式螺桿真空泵設備 ULVAC 愛發科 耐工藝型干式螺桿真空泵設備
高耐腐蝕性設計：對轉子軸、氣缸等關鍵部件進行特殊表面處理，可適應腐蝕性氣體的長期排氣需求，延長設備使用壽命。
優異的排粉性能：采用 ULVAC 獨特的螺桿轉子軸設計，可高效排出工藝過程中產生的粉塵，避免泵腔堵塞，保障連續運行穩定性。
全壓力范圍連續運行：支持從大氣壓到極限壓力的全壓力范圍連續運行，無需復雜的啟停控制，適配各類工藝的連續生產需求。
多規格可選配置：提供 MS120A、MS600A、MS1200A 三種規格，排氣速度覆蓋 115~980m3/h，可根據不同工藝規模靈活選擇。
| 項目 | MS120A | MS600A | MS1200A |
|---|---|---|---|
| 最大排氣速度 | 115m3/h | 560m3/h | 980m3/h |
| 極限壓力 | ≤0.6Pa | ≤0.1Pa | ≤0.1Pa |
| 電源電壓 | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz |
| 功耗 | 2.4kW | 3.1kW | 3.1kW |
| 冷卻水量 | >4.0L/min | >4.0L/min | >4.0L/min |
| 吹掃氣體量 | 0~50sccm | 0~50sccm | 0~50sccm |
| 最大水蒸氣處理量 | 1.5kg/h | 1.5kg/h | 1.5kg/h |
| 噪音值 | 61dB(A) | 62dB(A) | 64dB(A) |
| 吸氣口規格 | KF50/ISO-F-80 | ISO-F-80 | ISO-F-100 |
| 排氣口規格 | KF40 | KF40 | KF40 |
| 設備重量 | 139kg | 241kg | 264kg |
電子元件與半導體制造設備的真空排氣系統，如蝕刻、組裝、等離子清洗設備
真空熱處理爐的真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐
鋰離子電池制造設備的真空排氣系統，如電極干燥裝置、脫泡裝置、注液裝置
醫療與食品相關裝置的真空排氣系統，如冷凍干燥裝置、真空干燥裝置
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