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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本 KITANO 超高真空半導(dǎo)體探針設(shè)備日本北野精機(jī)超高真空半導(dǎo)體探針單元，專為半導(dǎo)體器件 I-V、PL、EL 等測試設(shè)計，支持 4 探針配置，移動分辨率 0.01mm，適配超高真空環(huán)境，可擴(kuò)展冷熱臺與氣體引入功能，滿足多種測試場景需求。
產(chǎn)品型號：4 探針廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-05-13訪 問 量：118
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日本 KITANO 超高真空半導(dǎo)體探針設(shè)備 日本 KITANO 超高真空半導(dǎo)體探針設(shè)備
多探針配置與高精度驅(qū)動：最多支持 4 根探針同時工作，前后移動量 ±6.5mm，傾斜角度 6 度，移動分辨率達(dá) 0.01mm，確保探針定位精準(zhǔn)。
超高真空環(huán)境適配：采用標(biāo)準(zhǔn) ICF-152 頂法蘭，可在超高真空環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，滿足真空工藝與器件測試的潔凈環(huán)境要求。
多功能測試擴(kuò)展：支持 TRIAX、BNC、SMA 等多種饋通接口，可測量微小電流；配備觀察窗，可通過 CCD 相機(jī)觀測器件，或引入激光 / 光信號進(jìn)行光學(xué)測試。
靈活的環(huán)境控制：可擴(kuò)展冷卻臺、加熱臺及氣體 / 濕度引入功能，實現(xiàn)不同溫度與環(huán)境條件下的器件特性測試。
便捷的操作與集成：空氣側(cè)配備 XYZ 移動機(jī)構(gòu)，便于探針操作；標(biāo)準(zhǔn)法蘭設(shè)計支持設(shè)備的輕松擴(kuò)充、改造與形狀變更。
| 項目 | 參數(shù) / 說明 |
|---|---|
| 探針數(shù)量 | 4 根 |
| 安裝法蘭 | 標(biāo)準(zhǔn) ICF 法蘭，可選配 ISO/JIS 法蘭 |
| 樣品臺尺寸 | Φ60mm |
| 探針移動量 | 前后 ±6.5mm，傾斜角度 6° |
| 移動分辨率 | 0.01mm |
| 饋通接口 | TRIAX、BNC、SMA |
| 探針材質(zhì) | 鎢 |
| 視窗 | 標(biāo)準(zhǔn)科瓦爾材質(zhì)，可選藍(lán)寶石 / 石英材質(zhì) |
| 重量 | 12kg |
| 適配環(huán)境 | 超高真空環(huán)境 |
半導(dǎo)體器件特性測試：真空環(huán)境下的 I-V、PL、EL 等電信號與光學(xué)特性測量，如二極管、晶體管、光電器件等。
材料科學(xué)研究：半導(dǎo)體材料、薄膜器件的表面與界面特性分析，適配超高真空制備與表征系統(tǒng)。
器件可靠性與環(huán)境測試：引入氣體、濕度或溫度控制，模擬不同工作條件下的器件性能變化。
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