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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本 KITANO（北野精機）束流通量監(jiān)測儀器日本北野精機束流通量監(jiān)測器專為 MBE 設(shè)備設(shè)計，采用微型 B-A 真空計測量分子束強度，支持硒氣氛環(huán)境使用，配備快門保護機構(gòu)，安裝法蘭 ICF070，可測量 10??Pa~13Pa 壓力，滿足超高真空分子束外延工藝的通量監(jiān)測需求。
產(chǎn)品型號：B-A 真空計廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-05-13訪 問 量：147
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日本 KITANO（北野精機）束流通量監(jiān)測儀器 日本 KITANO（北野精機）束流通量監(jiān)測儀器
專業(yè)級真空測量：采用佳能阿內(nèi)爾巴微型 B-A 真空計，測量范圍覆蓋 10??Pa~13Pa，靈敏度 0.045Pa?1，滿足分子束強度監(jiān)測的精度要求。
環(huán)境適應(yīng)性強：內(nèi)部部件采用無銅材質(zhì)，支持硒氣氛環(huán)境使用；最高烘烤溫度達 200℃（不含連接器部分），適配超高真空腔體的烘烤工藝。
快門保護設(shè)計：配備筒型快門機構(gòu)，可在非測量時通過大氣側(cè)杠桿操作保護真空計，延長傳感器使用壽命。
靈活的安裝與擴展：采用 ICF070 標準法蘭安裝，測量位置（L 尺寸）可定制，支持測量值模擬量輸出，便于集成到不同型號的 MBE 設(shè)備中。
低放氣設(shè)計：關(guān)鍵部件經(jīng)電解拋光處理，降低氣體釋放，減少對超高真空環(huán)境的污染。
| 項目 | 參數(shù) / 說明 |
|---|---|
| 安裝法蘭 | ICF070 |
| 傳感器類型 | 微型 B-A 真空計 |
| 最高烘烤溫度 | 200℃（不含連接器部分） |
| 泄漏率 | ≤1×10??Pa·m3/sec |
| 測量壓力范圍 | 10??Pa ~ 13Pa |
| 量程靈敏度 | 0.045Pa?1 |
| 快門機構(gòu) | 手動杠桿驅(qū)動筒型快門，保護真空計 |
| 適配環(huán)境 | 超高真空、硒氣氛環(huán)境 |
分子束外延（MBE）工藝：半導體薄膜外延生長過程中，分子束強度的實時監(jiān)測與控制。
超高真空設(shè)備配套：需要真空度監(jiān)測的超高真空腔體，尤其適配含硒氣氛的實驗環(huán)境。
材料科學研究：分子束沉積、薄膜生長等真空工藝的過程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化。
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