核心技術特點

• 超高照度缺陷檢測

  照度可達 400,000Lx 以上，為太陽光的 4 倍以上，能清晰呈現晶圓表面微米級劃痕、霧斑、異物等缺陷；采用冷鏡技術，大幅降低光源發熱對精密工件的影響，避免熱變形風險。
• 適配不同檢測場景

  YP-150I 照射直徑 30mm，適用于 6 英寸及以下晶圓關鍵區域檢測；YP-250I 照射直徑 40mm，適配更大尺寸工件。兩者均采用強制風冷設計，保障長時間穩定運行。
• 穩定可靠的電源系統

  配套專用電源 HPS-150/HPS-250，支持電壓調節式光量控制，綜合波動率≤1%，確保光照輸出穩定；寬電壓輸入（AC100~240V），適配不同地區供電標準。
• 人性化設計與維護便捷

  燈泡采用易更換設計，YP-150I 適配 JCR15V150W 燈泡，YP-250I 適配 FLC24V250W 燈泡，壽命 30~50 小時；設備尺寸緊湊，帶安裝軸設計，便于集成到生產線或檢測工位。

適用場景

• 半導體制造：晶圓表面異物、劃痕、研磨不均等缺陷檢測

• 顯示行業：液晶玻璃基板、偏光片等表面質量檢查

• 精密加工：光學元件、玻璃制品的外觀缺陷目視檢測

• 質量管控：生產過程中關鍵工序的人工與自動化檢測輔助