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Hisol 低噪聲探針臺高溫夾具設備Hisol HA/HA-H 系列通用高溫晶圓夾具，專為半導體晶圓高溫測試設計，控溫范圍室溫～+200℃/300℃，支持 4-8 英寸晶圓，可選標準同軸或低噪聲三軸型，支持器件背面偏壓施加，適配探針臺高溫測試場景。
產品型號：HA/HA-H 系列廠商性質：經銷商更新時間：2026-05-26訪 問 量：106
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Hisol 低噪聲探針臺高溫夾具設備 Hisol 低噪聲探針臺高溫夾具設備
雙溫度規格，覆蓋中高溫測試需求
提供室溫～+200℃的 HA 系列與室溫～+300℃的 HA-H 系列，可滿足不同溫度等級的器件高溫測試需求。
低噪聲加熱設計，保障測試精度
采用串聯式直流電源作為加熱器電源，具有低噪聲特性，可降低測試干擾，保障弱信號測試數據的準確性。
多晶圓尺寸適配，雙類型可選
支持 4/6/8 英寸晶圓，可選擇標準型（同軸）或適用于低噪聲、低漏電測量的三軸型，適配常規測試與高精度弱信號測試場景。
靈活冷卻方式，適配不同工況
冷卻方式支持自然冷卻或壓縮空氣供應，可根據測試需求與現場條件靈活選擇。
支持偏壓施加與垂直器件測量
可實現對背柵等器件背面施加偏壓，并支持垂直型器件的測量，為器件電學特性測試提供靈活的配置能力。
4-8 英寸半導體晶圓的高溫電學特性測試
探針臺設備的高溫測試卡盤配件
低噪聲、低漏電器件的高溫高精度測試場景
背柵器件、垂直器件的高溫偏壓施加與性能驗證
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