日本 Luceo 半導體晶圓近紅外應力檢測設備 日本 Luceo 半導體晶圓近紅外應力檢測設備

廠商產品基礎信息

品牌：日本 Luceo（株式會社ルケオ）

型號：LSM-9001NIR

產品名稱：近紅外全自動應力檢測儀

平臺分類：一級 - 光學儀器及設備；二級 - 偏光應力檢測儀器；三級 - 晶圓樹脂應力測試儀

核心規格參數

表格

項目參數

檢測原理近紅外 NIR 回轉檢光子法

延遲評估范圍0~150nm

有效測量區域50×50mm

樣品最大高度160mm

整機外形尺寸W300×D353×H540mm

整機重量22kg

光源高亮度 LED，長壽命低功耗

供電規格AC100-240V，DC24V 1.6A

配套系統主機、PC、連接線、機蓋，適配 Win10 64 位專業版

五大核心優勢

全自動無人工干預測量

放置樣品一鍵啟動，內置攝像頭自動定位識別，消除人為操作判斷帶來的測量誤差，大幅提升檢測一致性。

可測有色不透光樣品

采用近紅外光路，突破傳統可見光應力儀局限，可檢測有色亞克力、有色玻璃、半導體晶圓、含色素樹脂，同步檢測殘余應力與微裂紋。

完整專業分析軟件套件

支持應力二維分布圖、截面曲線、三維立體可視化，可導出 CSV 測量數據與原始圖像，便于批量數據歸檔與報告輸出。

長壽命低維護光源

高亮度 LED 近紅外光源，使用壽命長，減少光源更換頻次，降低長期實驗室運維成本。

適配半導體與光學零部件

專為 50mm 以內硅片、光學基板、注塑樹脂件設計，數分鐘完成全域面分布掃描，支持現場試樣演示評估。

適用實驗 / 工業場景

半導體行業：硅晶圓、光學晶片全域殘余應力面分布檢測

光學材料：有色玻璃、濾光片、光學基板應力檢測

塑膠行業：有色亞克力、樹脂注塑件內應力、裂紋篩查

精密光學零部件來料品質管控、出廠應力抽檢