日本 NAPSON 硅片半導體渦流電阻率檢測儀器 日本 NAPSON 硅片半導體渦流電阻率檢測儀器

1. 產品概述

EC-80P-PN 為臺式渦流非接觸式電阻檢測設備，無需接觸樣品即可完成方塊電阻、電阻率無損檢測；主機可搭載多規格探頭，覆蓋低阻至硅片專用全量程，適配半導體晶圓、光伏硅片、導電薄膜來料與產線全檢，不劃傷成品，適合批量無損抽檢。

2. 完整測量量程

1）電阻率整體區間

1m~200Ω?cm（樣品厚度 500μm 下全探頭合計范圍）

2）方塊電阻整體區間

10m~3000Ω/sq（全探頭合計量程）

分 5 檔專用探頭區間：

低阻：0.01~0.5Ω/□

中阻：0.5~10Ω/□

高阻：10~1000Ω/□

S - 高阻：1000~3000Ω/□

太陽能硅片專用：5~500Ω/□

3. 整機物理尺寸

主機本體：W255×D275×H95mm，整機 4kg

探頭規格：φ20mm×80mm 手持探頭

4. 核心硬件功能

渦流非接觸單點測量，探頭輕貼樣品表面即可自動讀數，無樣品損傷；

電阻率、方塊電阻雙測量模式一鍵切換；

JOG 調節旋鈕，快速設置測量閾值、補償參數；

雙探頭擴展接口，可同時接入 2 支不同量程探頭，一鍵切換量程；

適配不限外形尺寸樣品，僅要求樣品平整、直徑≥20mm。

四、四大核心產品優勢

1. 無損渦流檢測，成品零損傷

非接觸渦流測量原理，無需探針壓合，鍍膜、硅片成品檢測不會產生劃痕，適合出貨全檢工序。

2. 多探頭全覆蓋，全品類材料通用

5 檔可選探頭覆蓋低阻金屬膜、高阻 TCO、光伏硅片、碳化硅半導體，一臺設備滿足實驗室與產線多場景檢測。

3. 臺式穩定機身，手持探頭靈活檢測

主機穩固放置工作臺，搭配輕量化手持探頭，大尺寸晶圓、卷材薄膜均可靈活取點測量。

4. 操作極簡，產線人員快速上手

旋鈕式參數調節、雙模式一鍵切換，無需復雜校準，新手短時間即可完成批量檢測。

五、適用測量樣品與行業

測量對象

硅 / 多晶硅 / SiC 半導體晶圓、GaAs/GaN/InP 化合物外延片、ITO / 金屬導電薄膜、石墨烯 / 碳納米管 / 銀納米線新材料、光伏太陽能硅片。

應用行業

半導體晶圓制造、光伏電池片生產、顯示觸控鍍膜、第三代半導體實驗室、新材料研發、光學薄膜加工廠。