日本 坂本 SEM 無線精密雙軸數字水平儀 日本 坂本 SEM 無線精密雙軸數字水平儀

1. 產品概述

SELN-121BM 是坂本電氣面向半導體行業打造無線分體式 2 軸精密數字水平儀，傳感探頭與手持顯示器無線通訊，無需線纜束縛；復刻傳統圓氣泡可視化界面，X/Y 雙軸同步采集平面傾角，解決傳統氣泡水準儀視線遮擋、雙人配合作業、布線受限痛點；小型輕量化探頭可安裝機械臂、設備內腔、夾層窄縫，是晶圓設備、半導體制造平臺專用高精度調平設備。

2. 核心規格參數

傳感探頭性能

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參數技術指標

線性測量范圍X±0.3°、Y±0.3°

零點重復精度≤±0.001°

響應速度≤50ms

測量分辨率0.0001°

AD 采集位數14 位高精度模數轉換

AD 理論分解能力0.000025°

顯示器功能參數

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項目規格

主控芯片32 位高速微控制器

顯示單位0.0001°，deg/mm/m 單位一鍵切換

合格閾值自定義0.0001° 起步可調

多檔量程切換0.01° / 0.001° / 0.0001° 三檔

超量程告警傾角＞0.3° 屏幕 OVER 提示

環境適配

工作溫度：-10℃ ~ +50℃，適配半導體車間恒溫工況；抗溫漂設計，長時間連續測量數值穩定。

3. 四大核心產品優勢

無線分體結構，擺脫線纜限制

傳感器與顯示器無線傳輸，遠距離手持顯示屏實時讀數，狹窄夾層、設備內部、機械臂末端無需布線，單人即可完成調平，省去雙人配合工時。

超高重復精度，半導體精密場景專用

零點重復精度 ±0.001°，微米級平面度檢測，滿足晶圓載臺、曝光機、檢測設備等高精密平臺校準標準。

可視化氣泡仿真界面，上手零門檻

屏幕模擬傳統圓形氣泡水準器，紅綠雙圈自定義合格區間；紅點落入綠圈顯示 Good，超差自動 NG 提示，無需專業培訓即可判讀。

小型輕量化探頭，狹小空間適配

探頭體積小巧，可固定在機械臂、設備內腔、高低落差夾層等常規水平儀無法放置的位置，適配各類受限安裝工位。

4. 適用行業場景

半導體制造裝備：晶圓搬運腔體、曝光設備、檢測平臺、真空腔體、機械臂底座平面度與傾角校準。

5. 同系列產品橫向區分

SELN-121BM：無線分體款，無布線需求，適合半導體流水線、機械臂動態檢測；

SELN-001B：有線分體款，低延遲穩定傳輸，適合密閉腔體長期固定監測；

SEC-S011F-V：垂直測量傾斜儀，大角度 ±45°，面向汽車、工程機械立面傾角檢測。