日本 SEM 坂本 工業半導體精密數顯水平儀 日本 SEM 坂本 工業半導體精密數顯水平儀

1. 產品概述

SELN-011B 是坂本電機面向半導體設備、精密機床、汽車工裝開發的超高精度分體式兩軸數字水平儀，分體有線結構，微型傳感探頭可伸入上下間距狹窄、視線無法觀測的夾層、設備內部；復刻傳統圓氣泡水平儀可視化界面，全數字化量化傾角，消除人工目視讀數誤差；搭載 SD 卡本地存儲、USB 實時數據輸出功能，量程多檔切換，新手也可快速完成高精度設備調平。

2. 六大核心產品優勢

超高測量精度，微米級水準

X/Y 雙軸零點重復精度≤±0.001°（17.5μ/m），最小顯示分辨率 0.0001°，滿足半導體、精密加工超平基準校準需求。

分體有線設計，狹小空間無障礙測量

傳感器與顯示主機分離，長線傳輸，夾層、設備內部、高低受限狹窄工位均可伸入測量，傳統氣泡水平儀無法觀測的點位輕松檢測。

可視化氣泡模擬屏幕，上手零門檻

屏幕圖形復刻圓形氣泡水準器，紅綠雙圈設定合格區間，紅點落入綠圈顯示 Good，超出顯示 NG，直觀判斷水平狀態，無需換算。

雙軸同步調節，大幅縮短調平工時

X、Y 兩軸數值同步實時顯示，可同時完成雙向水平校正，相比單軸儀器大幅縮減設備調試工時。

統一數字化基準，消除人為讀數偏差

全數值量化輸出，不存在傳統氣泡儀因人觀測角度、溫度漂移產生的讀數差異，統一車間作業判定標準。

雙路數據存儲輸出，便于溯源記錄

支持 SD 卡本地保存角度數據；USB 接口實時向外輸出測量數據，可連接電腦實時采集、歸檔測試記錄。

3. 全套規格參數

傳感器性能

表格

參數項SELN-011B 參數

線性量程X/Y ±0.3°

零點重復精度≤±0.001°

測量分辨率0.0002°，顯示 0.0001°

響應速度≤50ms

工作溫度-10℃ ~ +50℃

主機系統

主控：32 位微控制器，14 位 A/D 采集

A/D 分解精度：0.000025°

量程三檔切換：0.01° / 0.001° / 0.0001°

合格閾值自定義范圍：0.0001° 起設

超量程提示：＞0.3° 觸發 OVER 告警

接口與存儲

本地存儲：SD 卡數據文件保存

實時輸出：USB 串口數據同步輸出至電腦

分體有線連接，傳感器與顯示主機分離布線

4. 工作原理

微型 MEMS 雙軸傳感探頭采集平面 X/Y 傾斜偏移量，經高精度 14 位 AD 轉換、內部算法降噪后，有線傳輸至顯示主機；屏幕同步展示圖形化氣泡模擬界面 + 精確角度數值，同時將測量數據緩存至機身，可 SD 卡導出或 USB 實時上傳電腦，實現精密設備水平量化校準與數據留存。

5. 典型應用行業

半導體制造裝備：晶圓搬運平臺、光刻機、檢測設備高精度基準調平

精密工業裝備：龍門加工中心、三坐標、精密機床工作臺水平校準

汽車研發制造：工裝夾具、檢測臺、整車裝配平臺水平調試

精密實驗室設備：光學平臺、測試治具、高精度儀器基準標定