日本 HORIBA 電容式真空壓力計真空變送器 日本 HORIBA 電容式真空壓力計真空變送器

1. 產品概述

VG 系列電容式真空壓力計是 HORIBA 面向精密真空工藝推出的電容薄膜絕對壓力變送器。依靠隔膜形變改變電容值測量絕對真空，測量結果幾乎不受氣體種類影響；隔膜材質 SUS316L，具備良好耐腐蝕性。

分為兩大規格：VG-211S 常溫環境型；VG-221S 內置恒溫加熱模塊（55℃/100℃可選），大幅降低溫漂，適合水汽、易冷凝氣體工況，廣泛應用半導體制程、醫藥凍干、食品滅菌、鍍膜 PV 等真空生產線。

2. 詳細規格參數

表格

參數項目VG-211SVG-221S

滿量程檔位133.32 Pa / 1.3332 kPa / 13.332 kPa / 133.32 kPa133.32 Pa / 1.3332 kPa / 13.332 kPa / 133.32 kPa

傳感器工作溫度環境溫度（25℃基準）恒溫 55℃ / 100℃可選

精度規格0.5% R.S. / 0.25% R.S.0.5% R.S. / 0.25% R.S.

分辨率0.03% F.S. / 0.01% F.S.0.03% F.S. / 0.01% F.S.

零溫度系數0.01%FS/℃ / 0.005%FS/℃0.005%FS/℃ / 0.0025%FS/℃

量程溫度系數0.05%R.S./℃ / 0.03%R.S./℃0.03%R.S./℃ / 0.02%R.S./℃

響應時間＜60ms＜60ms

整機環境溫度10～50℃10～50℃

介質接觸材質SUS316L 不銹鋼隔膜SUS316L 不銹鋼隔膜

供電規格±15VDC 或 24VDC±15VDC 或 24VDC

特色功能一鍵調零微型自加熱恒溫、一鍵調零

合規標準CE、RoHSCE、RoHS

3. 產品核心亮點

? 電容式測量原理，氣體依賴性極低

區別于熱傳導真空規，測量結果基本不受氣體組分影響，多種工藝氣體下數據一致性優秀。

? 雙版本選型，適配干濕工況

VG-211S 常溫經濟型；VG-221S 恒溫加熱款，抑制水汽冷凝、減少溫度漂移，適合凍干、濕熱滅菌場景。

? 優異溫度穩定性

VG-221S 極低零漂與量程溫漂，長時間連續工藝運行壓力數據穩定。

? SUS316L 隔膜，耐多種腐蝕工藝氣體

耐受水汽、弱酸弱堿蒸汽，醫藥、食品、濕法真空工序使用壽命更長。

? 高速響應＜60ms

可捕捉真空工藝快速壓力波動，滿足閉環制程控制要求。

? 多量程可選，覆蓋中低真空區間

從百帕到大氣壓寬區間可選，適配粗真空、低真空各類工藝段。

? 自帶一鍵調零功能

現場校準便捷，降低維護難度。

? 符合 CE、RoHS 工業標準

可直接出口設備配套，滿足海內外設備整機認證要求。

4. 典型應用場景

半導體 / FPD / 光伏鍍膜：濺射、沉積工藝腔體真空監測；

制藥行業：冷凍干燥機真空度在線監控；

食品飲料行業：高壓滅菌、真空包裝生產線壓力監測；

涂層、HDD 存儲器件真空制造工序；

實驗室真空腔體、通用中低真空設備壓力采集。