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日本 INTECS 晶圓斷面測量裝置系統本服務針對 INTECS VSSW 攝像管式晶圓斷面測量裝置開展升級改造，可復用原有外觀鈑金結構，僅更換老化內部電氣元件，讓老舊設備實現與品牌最新系統同等的測量性能與功能，節省設備全款換新成本，適配半導體晶圓斷面形狀長期精密量測需求。

日本 Ams 單點式鹵素冷媒氣體泄漏監測儀Ams HGM-SZ 單點式冷媒泄漏監測儀采用穩定紅外傳感器，最高檢出靈敏度 1ppm，外接采樣軟管即可定點實時監測氣體濃度；抽氣量大幅降低漏檢風險，安裝便捷易加裝在空調、制冷機組機房；兼容 HFO、HFC、SF6、NOVEC 等多類介質，運行成本低，適用于制冷設備維保、冷媒回收、車間機房 24 小時泄漏在線預警。

日本 BACHARACH 通道多點冷媒泄漏監測儀HGM-MZ 為 16 路多點在線冷媒氣體監測主機，搭載高精度紅外傳感器，單臺最多監控 16 處泄漏點位，最遠采樣距離 360 米；抽吸式大抽氣量大幅降低漏檢風險，支持 HFO/HFC/HCFC 等全系列冷媒，分區獨立設置檢測工質，自帶設備自診斷，24 小時實時濃度監控，廣泛用于制冷廠房、數據中心、潔凈車間安全監測。

日本 HORIBA 半導體腔室清洗紅外氣體監測儀HORIBA IR-400 系列采用非分散紅外 NDIR 檢測原理，面向半導體薄膜沉積腔室清洗工藝；IR-422 支持 SiF?、CF?雙組分監測，氣室最高 180℃伴熱，高靈敏度實時捕捉尾氣組分變化，精準判定清洗終點，縮短清洗時長、降低蝕刻氣體消耗，具備模擬 + RS485 數字通訊，易于集成刻蝕、CVD 設備排氣管路。

日本 HORIBA 半導體前驅體蒸汽濃度監測儀HORIBA IR-300 采用非分散紅外（NDIR）雙光束檢測原理，專為 MOCVD 工藝前驅體蒸汽濃度實時監測開發。可在線監控 TEGa 等金屬有機源蒸汽濃度，支持多重校準曲線，搭載 DeviceNet/RS485 / 模擬量通訊；結構緊湊、安裝方向無限制，助力半導體外延工藝穩定、提升良率。

日本 SEM 坂本 工業在線傾斜監測系統日本 SEM 坂本 SEC-021FivⅡ-H 工業在線傾斜監測系統，DC12V 工業供電，分體兩軸 MEMS 傾角傳感；帶濾波抗振，支持 RS232 數字 + 0-10V 模擬雙輸出，可接入 PLC 工控系統，分體探頭適配隱蔽點位長期監測，廣泛用于土木基建、工程機械、自動化設備姿態監控。

otari工業清潔度監測 雙通道超聲波音壓計 自動量程（Auto Range）功能 可測量水、炭化水素、IPA等所有不腐蝕SUS304的液體 覆蓋0～100℃液溫范圍

日本otari超聲波清洗槽監測儀手持式音壓計 用于超音波洗浄機的日常品質管理 振子劣化診斷與更換時機判斷 洗浄工藝參數優化 洗浄不良原因分析 多槽洗浄設備的集中監控