產(chǎn)品概述

核心技術(shù)參數(shù)

核心特點(diǎn)

• 廣泛樣品兼容性，適配多種測試場景

  配備體視顯微鏡，可對 10mm 見方的小樣品到 φ5 英寸晶圓進(jìn)行探針測試，滿足不同尺寸樣品的基礎(chǔ)電學(xué)測量需求。
• 三軸工作臺設(shè)計(jì)，操作便捷精準(zhǔn)

  工作臺由 X、Y、θ 軸組成，雖體積小巧但操作性能出色，配合顯微鏡可實(shí)現(xiàn)探針與樣品的精準(zhǔn)對準(zhǔn)，提升測試效率。
• 小型化輕量化設(shè)計(jì)，靈活適配空間有限場景

  設(shè)備實(shí)現(xiàn)小型化與輕量化，便于攜帶和在不同實(shí)驗(yàn)室間移動，同時占用空間小，適合高校教學(xué)、小型研發(fā)實(shí)驗(yàn)室等空間有限的場景。
• 高性價比方案，降低基礎(chǔ)測試門檻

  基礎(chǔ)配置價格從 ￥1,500,000 起，以親民的價格提供核心測試功能，為預(yù)算有限的用戶提供可靠的半導(dǎo)體測試解決方案。

適用場景

• 高校教學(xué)：半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)電學(xué)測試教學(xué)、實(shí)驗(yàn)課程設(shè)備

• 小型研發(fā)：初創(chuàng)企業(yè)或研發(fā)團(tuán)隊(duì)的器件原型測試、樣品篩選

• 實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)測試：低頻次、非批量的半導(dǎo)體樣品電學(xué)特性評估、工藝驗(yàn)證