日本 KATO KOKEN 半導體無塵車間塵源檢測儀 日本 KATO KOKEN 半導體無塵車間塵源檢測儀

1. 產品概述

Apex AP-GR 是加藤興研 Apex 系列旗艦型微粒可視化成套系統，搭載 520nm 綠色半導體連續激光 + 500 萬像素高靈敏度高速相機，配套專用 Apex 圖像處理軟件，可清晰捕捉 0.3μm 級微小懸浮粒子；整套設備實現粒子成像、軌跡追蹤、實時計數、數據導出一體化，用于半導體、醫藥、光伏等高等級潔凈室異物管控、塵源排查與產線工程改善。

2. 全套硬件規格參數

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模塊詳細技術指標

激光光源520nm 綠色半導體激光器，連續光；功率可選 1W/2W/6W 光纖款 / 10W

照射形態片狀光（席位光）

可觀測粒子常規 1μm 以上，具備 0.3μm 超微粒子可視化能力

成像相機500 萬像素高靈敏度工業相機，USB3.0 高速接口，75 幀 / 秒，支架

配套軟件 Apex 功能軌跡顯示、3 檔靈敏度切換、ROI 區域設置、靜態差分濾波、浮雕效果、累積亮度成像；實時粒子計數、圖表生成、CSV 數據導出

3. Apex 全系列型號橫向對比

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型號光源類型最小觀測粒子適用場景定位

AP-GR520nm 綠色激光0.3μm高精度微小粒子觀測，1~1 級高潔凈車間污染評估

AP-Yellow黃光 LED 光源1μm降低激光安全管控壓力，常規塵源溯源改善

AP-LR紅色 LED 光源5μm簡易粉塵初篩，明亮環境快速排查

四、五大核心產品優勢

1. 可觀測 0.3μm 超微顆粒，適配半導體頂級潔凈車間

綠色激光亮度高、散射成像對比度強，可捕捉晶圓制造關鍵管控的 0.3μm 級微粒，滿足無塵產線異物管控標準。

2. 一體化成套方案，成像 + 計數 + 分析一站式完成

激光光源、高速高靈敏相機、專業分析軟件成套交付，無需額外搭配配件，開機即可完成粒子拍攝、軌跡記錄、量化計數與報表輸出。

3. 75fps 高速幀率，完整捕捉粒子動態漂浮軌跡

高幀率相機無拖影記錄微粒運動路徑，精準定位人員、設備、輸送風道等各類塵源。

4. 完整數據導出功能，改善報告可視化舉證

軟件自動生成粒子統計圖表，支持 CSV 格式導出，可結合實拍影像形成標準化改善報告，用于內部評審與工藝整改佐證。

5. 多功率激光可選，適配不同觀測距離與腔體空間

1W~10W 多檔位連續激光可選，光纖款適配狹小設備內部、風道深處等復雜工位布光。

五、核心使用場景與適配行業

五大標準應用場景

塵源定位確認：異物不良現場追溯粉塵來源，排查人員、設備、輸送、氣流四大污染源；

改善前后對比驗證：清掃、工藝調整、設備改造前后粒子狀態量化對比，直觀驗證改善效果；

潔凈室等級環境評估：長期可視化監測車間懸浮微粒分布，用于潔凈度分級與環境優化；

產線工程改善：觀測設備內部粒子流動規律，作為良率提升、異物不良對策的依據；

內部報告舉證：影像 + 粒子計數數據結合，形成可視化報告，推動產線整改落地。

適配行業

半導體晶圓 / 面板制造、光伏電池車間、醫藥無菌車間、精密醫療器械、汽車無塵涂裝車間、食品無菌灌裝產線。