日本 Takano 高野 線掃相機顯示面板檢測儀 日本 Takano 高野 線掃相機顯示面板檢測儀

1. 產品概述

本設備是 Takano 面向高世代顯示產線推出的高精度顯示基板全幅視覺檢測設備，適配 LCD、OLED、觸控屏各類精細圖案基板；搭載自研高分辨率線陣掃描相機、5~50 倍可調自動追蹤對焦光學鏡頭，搭配原創 GFC 缺陷識別算法，穩定檢出 3μm 級微小圖案、異物、針孔、低對比度污漬缺陷，已落地 G10.5 高世代產線，兼顧卷式 / 單片基板高速量產全檢。

2. 硬件整機規格參數

表格

硬件項目規格指標

最高成像分解能3μm / 像素

自研線掃相機規格16000 像素 (560MHz) / 7400 像素 (266MHz) 雙型號可選

照明系統高亮 LED 照明 + 工藝定制光學濾光片

輸送搭載方案自由滾筒 / 氣浮滑塊 / 線性電機機架三種可選

光學評價單元5.0~50 倍可調顯微鏡、高速自動對焦追蹤模組

最小穩定檢出缺陷3μm 以上各類細微瑕疵

單片檢測節拍30 秒 / 張（5μm 檢測精度工況）

3. 可檢出全品類缺陷清單

圖案類缺陷：線路斷線、短路、圖案形變、缺角、布線偏移

異物顆粒缺陷：表面粉塵、金屬碎屑、外來凸起雜質

孔洞缺陷：涂層針孔、蝕刻漏孔、薄膜破洞

低對比度缺陷：表面污漬、弱色差膜層不均（選配污漬檢測功能）

4. 三大核心產品特長

01 原創 GFC 缺陷識別算法

圖像處理算法，精準捕捉 3μm 超細微缺陷，區分基板固有紋理與真實不良，大幅降低誤檢率，適配顯示面板復雜細微線路圖案。

02 高速穩定一體化光學成像系統

自研高幀率線掃相機 + 高精度專用檢測鏡頭，搭配動態自動對焦追蹤單元，高速走板過程持續清晰成像，保障量產長時間穩定檢測。

03 高世代產線成熟落地實績

具備 G10.5 大尺寸顯示基板產線批量應用案例，適配大尺寸 LCD/OLED/Touch 基板量產質檢場景。

5. 選配拓展功能

污漬檢測功能：識別低對比度污漬、弱色差類難檢出缺陷

高速圖像傳輸模塊：檢測同步實時上傳缺陷坐標、原圖、尺寸數據，對接產線 MES 系統

6. 適配檢測基材與下游客戶

檢測基板品類

LCD 液晶面板（彩色濾光片、TFT 薄膜晶體管基板）、OLED 有機 EL 顯示屏、電容式 / 電阻式觸摸屏基板

下游客戶群體

G6/G8.5/G10.5 代液晶面板工廠、OLED 柔性屏制造企業、觸控面板基板廠商、顯示材料研發實驗室