日本 Takano 高野 半導(dǎo)體數(shù)字全息檢測儀器 日本 Takano 高野 半導(dǎo)體數(shù)字全息檢測儀器

1. 產(chǎn)品概述

本設(shè)備是 Takano 結(jié)合自研視覺算法與數(shù)字全息成像技術(shù)開發(fā)的透明 / 半透明光學(xué)材料全域缺陷檢測設(shè)備，解決傳統(tǒng)光學(xué)設(shè)備無法捕捉玻璃內(nèi)部脈紋、氣泡、埋藏異物的痛點；單次成像同步采集產(chǎn)品內(nèi)部、正面、背面三層缺陷，無需多工位分次拍攝，支持卷對卷 / 單片在線量產(chǎn)高速檢測，適配光學(xué)鏡片、濾光片、蓋板玻璃、半導(dǎo)體透明晶圓全品類透光基材。

2. 整機硬件規(guī)格參數(shù)

表格

硬件項目規(guī)格指標

成像相機方案線陣相機 / 面陣相機雙選配

線陣相機像素16384 像素

面陣相機像素2048×2048 像素

照明系統(tǒng)660nm 中心波長透射照明，支持定制其他波長

水平成像分辨率5μm / 像素

線陣單次拍攝幅寬81mm

面陣單次拍攝視野10mm

自動對焦景深 Z 向±10mm，無需外置對焦模組

最小穩(wěn)定檢出缺陷尺寸10μm 以上

線陣量產(chǎn)檢測速度5m / 分鐘

面陣單片檢測節(jié)拍20 片 / 組（AF 圖像再生模式）

3. 全品類可檢出缺陷清單

內(nèi)部深層缺陷

脈理（脈紋）、內(nèi)部裂紋、包裹氣泡、埋藏異物、玻璃層白化

表層正反面缺陷

表面劃痕、涂層不均、表面污漬、表面附著異物、玻璃燒灼焦痕、顆粒雜質(zhì)

典型檢測樣品缺陷實拍

蓋板玻璃白化、眼鏡鏡片脈紋、光學(xué)濾光片劃痕、棱鏡顆粒雜質(zhì)

4. 五大核心產(chǎn)品特長

單次成像三層同步檢測

一張圖像同時識別材料內(nèi)部、正面、背面全部缺陷，省去多道檢測工序，大幅縮減產(chǎn)線工位與節(jié)拍。

雙相機在線方案兼容

線陣適配寬幅卷材連續(xù)走料，面陣適配單片鏡片 / 濾光片離線抽檢，滿足不同產(chǎn)線形態(tài)需求。

極簡光學(xué)硬件結(jié)構(gòu)

數(shù)字全息成像架構(gòu)，無需配套成像鏡頭，設(shè)備結(jié)構(gòu)精簡，故障率低、維護成本低。

超大景深免對焦設(shè)計

±10mm 超大景深，5μm 高精度成像，全程無需動態(tài)自動對焦機構(gòu)，厚薄波動工件穩(wěn)定成像。

分區(qū)靈活判定閾值

可針對產(chǎn)品不同區(qū)域獨立設(shè)置缺陷判定標準，適配多層鍍膜、異形光學(xué)元件定制化檢測需求。

5. 適配檢測基材與下游客戶

檢測產(chǎn)品品類

眼鏡光學(xué)鏡片、IR/ND/ 彩色光學(xué)濾光片、手機屏幕 / 攝像頭蓋板保護玻璃、FA 工業(yè)相機保護玻璃、透明光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體透明襯底晶圓、棱鏡、蓋玻片

下游客戶群體

光學(xué)鏡片加工廠、光學(xué)濾光片廠商、消費電子蓋板玻璃企業(yè)、車載鏡頭零部件工廠、半導(dǎo)體透明材料供應(yīng)商、光學(xué)元器件研發(fā)實驗室