日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計 日本 HORIBA 半導體數字式液體質量流量計

1. 產品概述

XF-100 系列為 HORIBA 推出數字式液體質量流量計，包含 XF-102、XF-104 子型號，主打高速動態流量監測。

產品依托差壓傳感測量方案，區別于傳統熱式液體流量計，響應速度大幅提升，適合流量頻繁波動的微量藥液輸送場景；設備本身僅具備流量測量功能，可外接壓電調節閥組建完整流量控制系統，適配各類半導體薄膜沉積、精密濕法制程。

2. 工作原理

傳感器采集流道兩端壓差信號，結合流體特性換算得到液體質量流量；無加熱元件，避免熱敏液體受熱變質、汽化起泡問題，可穩定監測易揮發、熱敏化學原料。

3. 核心功能亮點

? 差壓式高速響應測量

原生響應 100ms；配套壓電閥組成控制系統，整體調節響應＜0.8s，適合動態工藝。

? 優異測量精度

測量精度 ±0.8% 滿量程，保障微量液體配比重復性。

? 超潔凈本體設計

內部流道拋光處理，降低微粒產生，匹配半導體高純化學品輸送標準。

? 無熱源測量結構

不存在元件加熱，規避低沸點液體沸騰、前驅體熱分解風險。

? 標準化 VCR 高純接口

1/8"、1/4" VCR 接頭可選，便于集成到現有高純流體管路。

? 緊湊小型化機身

XF-102/104 外形尺寸統一，節省設備端安裝空間。

4. 型號區分

XF-102 Series：對應 1/8 VCR 接口配置

XF-104 Series：對應 1/4 VCR 接口配置

5. 典型應用場景

ALD、CVD 設備液態前驅體供給流量監測

半導體濕法清洗、顯影、蝕刻微量藥液輸送

化合物半導體、功率器件化學品定量輸送

優良封裝、光伏薄膜工藝液體源流量監控