日本 ONOSOKKI 小野 電容式非接觸厚度儀 日本 ONOSOKKI 小野 電容式非接觸厚度儀

1. 產品概述

CL-5610 系列是小野測器推出電容式非接觸厚度測量主機，搭配 VE 系列電容間隙傳感器使用。

設備分為兩款機型：

CL-5610：放大器內置，傳感器線纜長度固定 1.5m，適合實驗室桌面離線檢測；

CL-5610S：放大器獨立外置，主機與放大器標準線纜 2.5m，最長可拓展至 10m，便于自動化設備內嵌集成。

整機支持雙路傳感器接入，既可對置測厚度，也可單獨作為雙通道間隙監測儀使用。

2. 測量原理

? 導體 / 半導體測量：上下兩只電容傳感器對向布置，分別采集傳感器與樣品上下表面間隙，通過傳感器基準間距差值運算得出厚度；

? 絕緣體測量（選配 CL-0300）：單傳感器搭配金屬基準底板，依托材料介電常數完成薄膜、薄片厚度求解。

3. 核心功能亮點

? 多材質兼容測量

標準可測導體、半導體；加裝 CL-0300 選件可測量塑料薄膜、玻璃、樹脂等絕緣體。

? 高阻抗接地模式（CL-0210 選配）

針對氟涂層臺面、難以大面積接地的樣品，縮小接地接觸面積，依然保證測量穩定。

? 高分辨率演算功能（CL-0200 選配）

標準精度 ±0.15% FS；開啟選件可達 ±0.12% FS；最小顯示分辨率低至 0.02μm。

? 雙通道架構，用途靈活

2 路傳感器輸入，支持厚度測量、單點間隙、差值 A-B、最大 / 最小值、波動區間 RANGE 運算。

? 豐富對外通訊與輸出

標配 RS-232，支持遠程控制、數據采集；可選 6 位并行 BCD 輸出，對接 PLC、數據記錄儀。

? 多組參數記憶

主機可存儲最多 6 組傳感器校準參數，現場快速切換不同量程 VE 傳感器。

? 斷電參數保存

全部設定參數內置存儲，關機后配置不丟失。

4. 關鍵電氣規格

標準精度：±0.15 % F.S；加裝 CL-0200：±0.12 % F.S（VE-8020/8021 除外）

精度保證溫區：23℃±2℃

采樣周期：20ms

移動平均：1～64 階可調

遠程功能：外部觸發開始 / 停止測量、厚度校準

顯示：熒光數碼管，可切換單項目 / 雙項目顯示

5. 機型差異對比

表格

項目CL-5610CL-5610S

放大器結構主機內置放大器獨立外置放大器單元

傳感器→放大器線纜固定 1.5m，不可延長1.5m（傳感器至外置放大器）

放大器→主機線纜無標準 2.5m，最長可選 10m

適用場景實驗室臺式離線檢測自動化設備集成、產線在線檢測

6. 適配 VE 傳感器分辨率參考

表格

傳感器型號測量量程標準分解能CL-0200 高分辨率模式

VE-201120～200μm0.1μm0.02μm

VE-501050～500μm0.1μm0.05μm

VE-501120～200μm0.1μm0.02μm

7. 典型應用場景

半導體硅片、碳化硅薄片厚度無損抽檢

光學玻璃、超薄樹脂薄膜、PET 基材厚度檢測

鋰電池銅鋁箔、導電薄片非接觸測厚

精密導電墊片、鍍層基材離線厚度測試

自動化產線薄片在線厚度監控