日本 TECHNUM  非接觸激光三維輪廓測量儀 日本 TECHNUM  非接觸激光三維輪廓測量儀

1. 產品概述

TDS2100 系列是日本 TECHNUM 推出的桌面經濟型激光三維形貌測量裝置，整機體積小巧、采購成本更低，兼容市面主流激光位移傳感器。

設備分為兩大測量原理機型：共焦點式（AW/BW） 主打超高精度微區檢測；三角測距式（CG/DG） 兼顧大范圍測量與通用性。全程非接觸光學檢測，不會劃傷超薄、脆弱樣品，支持透明玻璃、鏡面晶圓、金屬、樹脂、纖維等全品類工件三維輪廓測繪，配套 Windows 端專用分析軟件，一站式完成形貌采集與數據解析。

2. 四大機型核心參數對照表

表格

參數項目TDS2100AW（共焦超高精度）TDS2100BW（共焦長工作距）TDS2100CG（三角標準型）TDS2100DG（三角大量程）

測量原理共焦點式共焦點式三角測距式三角測距式

工作距離6mm30mm10mm30mm

Z 軸測量范圍±0.3mm±1mm±1mm±5mm

光斑直徑φ2μmφ7μmφ20μmφ30μm

分辨率0.01μm0.01μm0.01μm0.05μm

激光規格670nm ClassⅠ，170μW670nm ClassⅠ，170μW650nm ClassⅠ，0.3mW650nm ClassⅢA，4.8mW

線性度±0.5% F.S±0.3% F.S±0.03% F.S±0.05% F.S

適配樣品透明 / 鏡面均可測透明 / 鏡面均可測透明 / 鏡面均可測透明 / 鏡面均可測

3. 核心產品優勢

硬件核心特點

? 小型低成本，實驗室桌面擺放

整機緊湊型設計，無需專用大型機房，價格遠低于進口3D 輪廓儀，降低研發檢測投入。

? 雙光路技術覆蓋全場景

共焦機型實現微米級微小圖案超精細掃描；三角測距機型支持大落差、大范圍工件測量。

? 兼容透明、鏡面、金屬、樹脂全材質

特殊光學光路消除反光、透射干擾，可直接測量玻璃、晶圓、光學透鏡、拋光金屬件。

? 非接觸無損檢測

無探針接觸樣品，杜絕超薄薄膜、光刻膠、軟質纖維劃傷風險。

? 平臺可定制化開發

標配 3 種標準行程工作臺，可根據客戶樣品尺寸、檢測流程定制運動系統。

? 通用傳感器拓展

支持外接市面主流商用激光位移傳感器，靈活升級檢測精度與量程。

軟件功能概要

可視化操作：Windows 圖形界面，鼠標一鍵完成測量參數設置與掃描；

多維度數據輸出：自動生成截面曲線、二維灰度云圖、三維立體形貌圖；

專業分析工具：截面面積、體積、平面度、曲率、高度差自動計算；

多模式采集：內置多種測量掃描模式，適配微區抽檢、全域大面積掃描；

數據導出：原始測量數據、形貌圖表可存檔導出用于工藝報告。

4. 典型應用場景

半導體 & 液晶行業

晶圓表面凹凸形貌、液晶基板、密封膠截面輪廓、芯片凸點高度測量；

光學元器件檢測

光纖斷面、鏡頭球面曲率、透光玻璃薄膜厚度與表面形變；

精密樹脂 / 金屬加工

注塑件表面平整度、刀片輪廓、金屬零部件三維形貌缺陷；

新材料研發

纖維、涂層、軟質薄膜表面起伏、體積、厚度分布表征；

高校實驗室

新材料工藝驗證、微小結構形貌表征、小批量樣品無損檢測。