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日本tateyama等離子微細加工設備刻蝕裝置TEP-01x 是一款獨特的等離子刻蝕裝置，專門針對硅以外的“非“半導體材料（如亞克力等塑料材料、SiO?(石英·水晶)和LiNbO?(鈮酸鋰)等壓電材料、鈦等難加工性材料）進行高平滑面·高深寬比的微細加工。
產品型號：TEP-01x/TEP-Xd廠商性質：經銷商更新時間：2026-02-02訪 問 量：188
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日本tateyama等離子微細加工設備刻蝕裝置
日本tateyama等離子微細加工設備刻蝕裝置
| 優勢 | 說明 |
|---|---|
| "非"半導體材料刻蝕專業化 | 針對各種塑料、壓電材料、難加工性材料優化 |
| 高刻蝕速率 | 實現高平滑面加工 |
| 安全·安心 | 不使用氯系氣體 |
| 材料類別 | 具體材料 |
|---|---|
| 各種塑料材料 | 亞克力、聚碳酸酯、環烯烴樹脂、氟系樹脂等 |
| 壓電材料 | SiO?（石英）、LiNbO?（鈮酸鋰）等 |
| 難加工性材料 | Ti（鈦）等 |
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