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2026-07-21
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9
日本 HORIBA 多氣體多量程數字流量控制器HORIBA SEC-Z500X 是經典量產型數字質量流量控制器,支持現場在線切換工藝氣體與滿量程,無需拆機拆裝;搭載可變 PID 控制系統,全量程 ±1.0% 設定點高精度,任意設定點響應≤1s;壓電閥全金屬結構,適配半導體、光伏、實驗室研發等多領域,大幅減少備件種類,降低使用成本。
2026-07-16
經銷商
41
日本 HORIBA 半導體寬范圍壓力流量控制器HORIBA D700WR 屬于 CRITERION 平臺寬范圍壓敏型 MFC,搭載全新節流組件,實現0.1~100% FS 超寬流量區間精密控制;配備高可靠 CIP 壓力傳感器與耐腐 PFA 噴嘴,上升響應≤500ms,內置狀態監測功能,單臺設備可兼顧高低流量工藝,精簡氣路配置,適配半導體刻蝕、沉積多工況研發與量產產線。
2026-07-16
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35
日本 HORIBA 半導體微流量壓力流量控制器HORIBA D700uF 屬于 CRITERION 平臺微流量壓強不敏感 MFC,專為≤5SCCM 微量工藝開發,可控至 0.025SCCM;采用專用低流量基準與內部流量計量技術,上升響應≤100ms;標配 PFA 噴嘴、內置狀態監控,適配高深寬比刻蝕、ALD 等需要微量氣體精準配比的優良半導體工藝。
2026-07-16
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37
日本 HORIBA 半導體高性能壓力流量控制器HORIBA D700T(D717T)屬于 CRITERION 平臺高性能壓力非敏感 MFC,采用雙閥控制算法,全量程≤100ms 響應;具備進出口壓力不敏感特性,內置高級故障診斷;重復性可達 0.15% S.P,工作溫度拓寬至 15~60℃,面向嚴苛優良半導體刻蝕、薄膜沉積制程。
2026-07-16
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39
日本 HORIBA 半導體壓力質量流量控制器HORIBA STEC D700MG(D717MG)屬于 CRITERION 系列壓力非敏感型 MFC,D500MG 向上兼容機型,搭載壓電閥,最快 100ms 調節響應;支持 EtherCAT 總線在線更改氣體與滿量程,配備 PFA 噴嘴、MRMG 小流量功能,內置狀態監測,面向刻蝕、薄膜沉積等優良半導體制程。
2026-07-16
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45
日本 HORIBA 半導體數字液體質量流量控制器HORIBA LF-F/LV-F 系列采用創新珀爾帖元件冷卻測量原理,區別于傳統熱交換方案,規避低沸點藥液汽化沸騰干擾;支持微升至超低量程精準管控,適配低沸點、高粘度化學液體,LV-F 內置壓電閥構成閉環流量控制,整機超潔凈構造,廣泛用于半導體濕法、光伏藥液輸送制程。
2026-07-15
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日本 Fujikura 薄膜測試儀影像檢查單元日本富士工 FT-C100 薄膜測試儀專用影像檢查單元,C 口變焦視覺系統搭配雙層環形 LED 光源,0.28~2.0 倍連續放大;3D 可調支架精準對準測量工位,實時視頻觀測紅寶石測頭與薄膜接觸面,識別微小劃痕、粉塵,配套各類薄膜厚度試驗機,保障測厚數據穩定可靠。
2026-07-01
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