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日本tateyama塑料壓電基板等離子刻蝕裝置除塑料制微流控芯片加工外，還適用于塑料材料、壓電材料、難加工性材料的高深寬比微細加工等各種MEMS器件的試制。
產品型號：TEP-01x廠商性質：經銷商更新時間：2026-02-02訪 問 量：199
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日本tateyama塑料壓電基板等離子刻蝕裝置
日本tateyama塑料壓電基板等離子刻蝕裝置
| 優勢 | 說明 |
|---|---|
| "非"半導體材料刻蝕專業化 | 針對各種塑料、壓電材料、難加工性材料優化 |
| 高刻蝕速率 | 實現高平滑面加工 |
| 安全·安心 | 不使用氯系氣體 |
| 材料類別 | 具體材料 |
|---|---|
| 各種塑料材料 | 亞克力、聚碳酸酯、環烯烴樹脂、氟系樹脂等 |
| 壓電材料 | SiO?（石英）、LiNbO?（鈮酸鋰）等 |
| 難加工性材料 | Ti（鈦）等 |
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