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日本 HORIBA 多氣體多量程數字流量控制器HORIBA SEC-Z500X 是經典量產型數字質量流量控制器，支持現場在線切換工藝氣體與滿量程，無需拆機拆裝；搭載可變 PID 控制系統，全量程 ±1.0% 設定點高精度，任意設定點響應≤1s；壓電閥全金屬結構，適配半導體、光伏、實驗室研發等多領域，大幅減少備件種類，降低使用成本。
產品型號：SEC-Z500X廠商性質：經銷商更新時間：2026-07-16訪 問 量：41
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日本 HORIBA 多氣體多量程數字流量控制器 日本 HORIBA 多氣體多量程數字流量控制器
1. 產品概述
SEC-Z500X 是 HORIBA STEC 市場主流暢銷數字質量流量控制器，面向柔性研發平臺、多工藝量產設備開發。
具備的多氣體 / 多量程現場組態能力，借助配套軟件即可在線變更介質與量程，無需從氣路管道拆卸設備；內置多項式曲線線性補償算法，寬流量區間維持高精度控制，兼容半導體、光伏、光纖、實驗室氣相實驗等多元化場景。
2. 核心優勢特點
? ±1.0% 設定點全域高精度
內置多項式近似曲線補償技術，HORIBA 原廠標準氣源完成各類工藝氣體標定，全程維持優秀線性精度，保障薄膜工藝組分穩定性。
? 可變 PID 高速響應系統
自適應可變 PID 算法，根據實時流量動態優化控制參數，任意流量階躍設定響應時間≤1 秒，兼顧低流量平穩與大流量跟隨性。
? 免拆機多氣體 / 多量程切換
支持在線更改氣體種類與滿量程規格，設備無需拆除、無需返廠標定；單一機型覆蓋多種工況，精簡備件庫存，縮短設備改造調試周期。
? 壓電閥 + 全金屬流體通路
壓電執行器響應迅速、遲滯小；全金屬潤濕結構，適配絕大多數惰性、腐蝕性工藝氣體，微粒釋放低。
? 豐富通訊協議可選
同時支持模擬信號、DeviceNet、EtherCAT 工業總線，新舊設備平臺均可直接兼容，選型靈活。
3. 典型適用工況領域
半導體制造：刻蝕、沉積、退火工藝輔助氣體供給
光伏電池鍍膜、擴散制程氣體控制
光纖拉絲、涂層工藝氣體配比
高校 / 企業實驗室氣相實驗、催化研究
食品滅菌、材料熱處理、精密氣體混合系統
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