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產品分類
日本 HORIBA 半導體寬范圍壓力流量控制器HORIBA D700WR 屬于 CRITERION 平臺寬范圍壓敏型 MFC，搭載全新節流組件，實現0.1~100% FS 超寬流量區間精密控制；配備高可靠 CIP 壓力傳感器與耐腐 PFA 噴嘴，上升響應≤500ms，內置狀態監測功能，單臺設備可兼顧高低流量工藝，精簡氣路配置，適配半導體刻蝕、沉積多工況研發與量產產線。
產品型號：D700WR廠商性質：經銷商更新時間：2026-07-16訪 問 量：35
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日本 HORIBA 半導體寬范圍壓力流量控制器 日本 HORIBA 半導體寬范圍壓力流量控制器
1. 產品概述
D700WR（代表型號 D707WR）是 HORIBA STEC CRITERION 系列寬量程壓力敏感型質量流量控制器，專為需要大范圍流量調節的半導體工藝開發。
搭載全新設計節流元件，流量可控下限延伸至滿量程0.1%FS，打破常規 MFC 低段控制局限；單臺 MFC 可覆蓋多種流量工況，能夠減少設備氣路搭載數量，簡化氣盤布局，降低設備硬件成本。原生 EtherCAT 總線，機械外形與 D700MG/D700T/D700uF 系列保持兼容。
2. 核心優勢特點
? 0.1~100% FS 超寬量程精密控制
低至 0.1% 滿量程穩定調節，一臺控制器同時滿足大流量沖洗與微量工藝配比，大幅提升工藝方案靈活性。
? CIP 高耐久壓力傳感單元
傳感器架構穩定性優異，長期量產工況下故障率更低，減少設備停機維護頻次與人工運維成本。
? 高性能 PFA 噴嘴結構
閥門關斷性能、耐腐蝕性相比常規方案提升 10 倍，有效抑制微粒產生，降低腔體污染風險，保障晶圓良率穩定。
? 動態響應可控
上升建立時間≤500ms，適配大多數薄膜沉積、干法刻蝕穩態工藝需求，平衡控制穩定性與生產節拍。
? 內置全域狀態監控系統
持續采集閥運行參數、壓力、流量偏差等數據，支持遠程上傳，助力工廠實現預測性維護、智能故障預警。
3. D707WR 關鍵性能規格
閥類型：常閉壓電執行器
控制區間：0.1~100% F.S/ 0.2~100% F.S（依據下游壓力區分）
建立時間：上升≤500ms，下降≤3ms
精度（25℃）：±1% S.P；低流量段 ±0.0075~0.025% F.S
重復性：±0.3% S.P
超調 / 欠調：取 ±2% S.P 或 0.5% FS 較大值
閥座泄漏：典型＜0.025% FS
檢漏標準：≤5×10?12 Pa?m3/s (He)
潤濕材質：SUS316L、鎳合金、PFA、PCTFE
工作溫度：15~45℃
供電：24VDC，EtherCAT RJ45 接口
4. CRITERION D700 全系列完整定位對照表
表格
型號流量特性控制下限壓力類型氣體在線組態核心定位
D700uF超微流量專用 0.025SCCM壓力非敏感不支持≤5SCCM 微量 ALD、高深寬比刻蝕
D700T標準流量高性能0.2~0.5%FS壓力非敏感不支持成熟量產，追求極速響應與寬溫域
D700MG標準流量靈活型0.2~0.5%FS壓力非敏感支持 EtherCAT 在線改氣體研發平臺、多工藝共線柔性產線
D700WR超寬量程通用0.1%FS壓力敏感不支持同一通道高低流量復用，精簡氣路
5. 典型應用場景
邏輯、存儲芯片干法刻蝕（高低流量交替工藝）
PVD/CVD 薄膜沉積、退火工藝
化合物半導體、第三代半導體氣相制程
工藝研發平臺，頻繁變更流量窗口的實驗設備
希望精簡氣路 MFC 數量、壓縮設備體積的新型機臺項目
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