日本 TECHNUM  非接觸激光表面粗糙度檢測儀 日本 TECHNUM  非接觸激光表面粗糙度檢測儀

1. 產品概述

TFS2100 系列是日本 TECHNUM 推出的經濟型非接觸粗糙度 & 斷面輪廓二合一測量設備，同品牌 TDS2100 三維形貌儀的單線剖面專用款，主打低成本桌面式精密表面檢測。

主機為標準化掃描平臺，可搭配市售商用激光位移傳感器，標配 TFS2100AW 共焦點傳感模組，光斑僅 2μm，能捕捉微觀紋理細微起伏；全程光學非接觸掃描，避免傳統接觸式粗糙度儀探針壓傷超薄薄膜、拋光鏡面、軟質橡膠樣品；內置符合 JIS 工業粗糙度標準算法，同時輸出斷面輪廓曲線與全套粗糙度參數，工作臺行程可按工件定制，適合高校材料實驗室、精密加工、光學元件研發。

2. TFS2100AW 核心硬件參數

表格

參數項目TFS2100AW 規格

測量原理共焦點式激光傳感

工作距離6mm

Z 軸測量范圍±0.3mm

激光光源670nm 可見光 ClassⅠ 安全半導體激光，170μW

光斑直徑φ2μm（超小微區精細掃描）

分辨率0.01μm

重復精度0.01μm

線性度±0.5% F.S

兼容被測材質金屬板材、樹脂、橡膠、薄膜、透明玻璃、鏡面拋光件

配套主機 TFS2100僅掃描運動平臺，激光傳感器需單獨選配

3. 核心產品優勢

硬件性能亮點

? 極小 2μm 光斑，微觀紋理精準捕捉

超小激光光斑，可測量微溝槽、微細紋路、芯片微小圖案表面粗糙度，分辨力達 0.01μm，媲美進口粗糙度設備。

? 全材質兼容，透明 / 鏡面無需預處理

共焦光路消除反光、透射干擾，玻璃、晶圓、拋光金屬、透明薄膜無需噴涂即可直接測量。

? 非接觸無損檢測

無硬質探針接觸工件，超薄光刻膠、軟橡膠、光學鍍膜不會產生劃痕、壓痕。

? 小型桌面機身，低成本投入

體積小巧放置于普通實驗臺，采購成本遠低于進口接觸式粗糙度儀、白光干涉儀。

? 傳感器自由選配拓展

主機平臺兼容市面主流激光位移傳感器，可按需更換共焦、三角測距傳感模塊切換精度與量程。

? 定制化掃描行程

標準行程基礎上，可根據長條工件、大面積板材加長掃描軸行程。

軟件功能亮點

合規 JIS 工業粗糙度標準

內置 JIS'94、JIS'01 全套粗糙度算法，輸出 Ra、Rz、Ry 等標準參數，可直接對標行業檢測報告；

自定義企業專屬粗糙度參數

支持導入客戶自研判定參數，適配特殊工藝品質管控標準；

斷面輪廓 + 粗糙度雙圖譜輸出

軟件同步生成二維斷面曲線、表面粗糙度波紋圖，直觀展示紋理起伏；

高速連續采集

掃描數據高速實時傳輸，縮短單件樣品檢測時長，適配批量樣品測試；

多測量模式切換

微區局部抽檢、長距離全域剖面掃描兩種模式自由切換。

4. 典型應用場景

精密金屬加工行業

不銹鋼、鈦合金、鋁板、沖壓件表面粗糙度、切削紋路斷面輪廓檢測；

光學 & 薄膜材料

光學玻璃、PET 薄膜、鍍膜基板、透明樹脂表面微觀紋理表征；

橡塑新材料研發

橡膠、軟質塑料、復合薄膜無接觸粗糙度測試，避免探針壓損；

半導體微電子

晶圓表面微圖案、光刻膠薄層微小區域粗糙度剖面測量；

高校 / 科研院所實驗室

新材料表面工藝迭代、微觀形貌基礎表征、教學檢測設備。