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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本 HORIBA 半導體數(shù)字液體質量流量控制器HORIBA LF-F/LV-F 系列采用創(chuàng)新珀爾帖元件冷卻測量原理，區(qū)別于傳統(tǒng)熱交換方案，規(guī)避低沸點藥液汽化沸騰干擾；支持微升至超低量程精準管控，適配低沸點、高粘度化學液體，LV-F 內(nèi)置壓電閥構成閉環(huán)流量控制，整機超潔凈構造，廣泛用于半導體濕法、光伏藥液輸送制程。
產(chǎn)品型號：LF-F/LV-F廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2026-07-15訪 問 量：45
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日本 HORIBA 半導體數(shù)字液體質量流量控制器 日本 HORIBA 半導體數(shù)字液體質量流量控制器
1. 產(chǎn)品概述
LF-F / LV-F 為 HORIBA 面向精密液體輸送開發(fā)的數(shù)字式液體質量流量設備：
LF-F：液體質量流量計，僅實現(xiàn)流量監(jiān)測；
LV-F：液體質量流量控制器，搭載壓電調(diào)節(jié)閥 + 閉環(huán)反饋回路，可設定并穩(wěn)定控制液體流量。
產(chǎn)品核心采用珀爾帖電子冷卻傳感技術，不采用常規(guī)加熱式熱交換測量，從根源抑制低沸點有機化學品受熱汽化、產(chǎn)生氣泡，解決傳統(tǒng)液 MFC 容易氣堵、測量漂移痛點，適合半導體清洗、刻蝕藥液、光伏制程特種化學品供給。
2. 核心工作原理
流量傳感器集成毛細管、珀爾帖冷卻元件與多點溫度檢測元件；液體流經(jīng)時，傳感器采集流動帶來的溫差信號換算質量流量。
LV-F 額外內(nèi)置壓電執(zhí)行閥門，對比設定值與實測流量，實時微調(diào)閥門開度，形成閉環(huán)自動控制，不受上游壓力波動影響。
3. 核心功能亮點
? 珀爾帖冷卻式測量原理
消除低沸點化學品沸騰汽化風險，杜絕氣泡造成測量失真，適配易揮發(fā)藥液。
? 微升至超低流量量程覆蓋
滿足精密微量藥液配比、微量前驅體輸送工況需求。
? 兼容低沸點、高粘度液體材料
適用品類更廣，適配半導體各類特種濕化學品。
? 超潔凈流道結構
滿足半導體高純藥液輸送潔凈等級要求，減少微粒析出污染晶圓。
? LV-F 集成壓電閥閉環(huán)控制
響應迅速、流量穩(wěn)定性強，具備優(yōu)秀抗壓力擾動能力。
? 數(shù)字化通訊接口
支持數(shù)字信號傳輸，易于接入 Fab 自動化控制系統(tǒng)。
4. 型號區(qū)分
LF-F：流量計，只監(jiān)測流量，無調(diào)節(jié)閥；
LV-F：流量控制器，自帶壓電閥，可設定流量自動調(diào)節(jié)。
5. 典型應用場景
半導體濕法清洗、光刻、顯影、蝕刻藥液微量供給
光伏電池制造化學品精準配比輸送
化合物半導體、功率器件前驅體微量進料
精密化工、實驗室低沸點試劑定量輸送
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