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PRODUCT CLASSIFICATION
產品分類
日本 HORIBA 半導體微流量壓力流量控制器HORIBA D700uF 屬于 CRITERION 平臺微流量壓強不敏感 MFC，專為≤5SCCM 微量工藝開發，可控至 0.025SCCM；采用專用低流量基準與內部流量計量技術，上升響應≤100ms；標配 PFA 噴嘴、內置狀態監控，適配高深寬比刻蝕、ALD 等需要微量氣體精準配比的優良半導體工藝。
產品型號：D700uF廠商性質：經銷商更新時間：2026-07-16訪 問 量：37
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日本 HORIBA 半導體微流量壓力流量控制器 日本 HORIBA 半導體微流量壓力流量控制器
1. 產品概述
D700uF（代表型號 D717uF）是 HORIBA STEC CRITERION 系列超微流量壓力非敏感質量流量控制器，面向優良半導體高深寬比制程量身打造，專門覆蓋滿量程 5SCCM 及以下微量氣體工況。
搭載全新開發內部低流量基準組件，突破傳統 MFC 下限控制瓶頸；原生 EtherCAT 總線，機械安裝尺寸與 D700MG/D700T 系列兼容，便于設備平臺統一化設計與升級替換。
2. 核心優勢特點
? 微量控制能力
可實現0.025SCCM穩定流量調節，滿足 ALD、高深寬比干法刻蝕微量前驅體 / 工藝氣需求，拓寬工藝窗口。
? 快速動態響應特性
上升響應≤100ms，多臺 MFC 之間流量偏差精準管控，保障薄膜組分均勻性，提升生產良率與產能。
? 內置獨立流量計量架構
出廠統一校準基準，批次一致性優異，長期運行流量穩定性可靠。
? PFA 耐腐蝕噴嘴配置
閥門關斷性能優異，耐腐蝕性更強，有效降低微粒生成風險，減少腔體污染與非計劃停機。
? 完整設備狀態監控體系
持續采集閥狀態、流量偏差、壓力數據，支撐遠程診斷與預測性維護，適配智慧工廠 Fab 運維方案。
3. D717uF 關鍵性能規格
標準滿量程：5 SCCM（示例介質 O?）
閥結構：常閉型壓電執行器
建立時間：≤100ms
控制區間：0.5~100% F.S/ 1~100% F.S（依據下游壓力區分）
精度（25℃）：±1% S.P（高段）；±0.1~0.2% F.S（低流量段）
重復性：±0.25% S.P
閥座泄漏：＜0.015SCCM (N?)
檢漏標準：≤5×10?12 Pa?m3/s (He)
潤濕材質：SUS316L、鎳合金、PFA
耐壓：620kPa (A)
4. D700 全系列產品定位區分
表格
型號流量層級氣體在線組態典型適用場景
D700uF≤5 SCCM 超微流量不支持ALD、高深寬比刻蝕、微量摻雜工藝
D700T10SCCM~10SLM不支持成熟量產固定工藝，追求寬溫域穩定
D700MG10SCCM~10SLM支持 EtherCAT 在線改氣體 / 量程研發平臺、多工藝共線柔性產線
5. 典型應用場景
優良邏輯、存儲芯片高深寬比干法刻蝕
ALD 原子層沉積微量前驅體、氧化劑供給
化合物半導體、第三代半導體薄膜工藝
離子注入微量摻雜氣體輸送
面板、微納光學薄膜氣相沉積工藝
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